东京毅力科创株式会社齐藤幸良获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基片保持构件和基片处理系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223487007U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422043228.0,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型基片保持构件和基片处理系统是由齐藤幸良;平瀬圭太;佐佐木庆介设计研发完成,并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本基片保持构件和基片处理系统在说明书摘要公布了:本实用新型提供能够从沿着水平方向排列的铅垂姿态的多个基片有选择地接收基片的基片保持构件和基片处理系统。本实用新型的一个方式的基片保持构件包括:主体,其具有前端部隔开间隔且根端部相连的第一臂部和第二臂部;第一保持引导件,其固定在第一臂部的前端部,用于保持基片的周缘部;和第二保持引导件,其固定在第二臂部的前端部,用于保持基片的周缘部,第一保持引导件与第二保持引导件之间的长度比基片的直径短,在与第一臂部和第二臂部相同的平面中,在基片位于比被第一保持引导件和第二保持引导件保持的位置靠近根端部的位置的状态下,第一臂部、第二臂部、第一保持引导件和第二保持引导件位于比基片靠径向外侧的位置。
本实用新型基片保持构件和基片处理系统在权利要求书中公布了:1.一种基片保持构件,其特征在于,包括: 主体,其具有前端部隔开间隔且根端部相连的第一臂部和第二臂部; 第一保持引导件,其固定在所述第一臂部的所述前端部,用于保持基片的周缘部;和 第二保持引导件,其固定在所述第二臂部的所述前端部,用于保持所述基片的周缘部, 所述第一保持引导件与所述第二保持引导件之间的长度比所述基片的直径短, 在与所述第一臂部及所述第二臂部相同的平面中,在所述基片位于比由所述第一保持引导件和所述第二保持引导件保持的位置靠近所述根端部的位置的状态下,所述第一臂部、所述第二臂部、所述第一保持引导件和所述第二保持引导件位于比所述基片靠径向外侧的位置。
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