深圳吉阳智能科技有限公司吴学科获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳吉阳智能科技有限公司申请的专利双层花篮自循环供收料设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223487009U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422595111.3,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型双层花篮自循环供收料设备是由吴学科;雷杰;陈荣军;冯彪;阳如坤设计研发完成,并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本双层花篮自循环供收料设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种双层花篮自循环供收料设备,涉及半导体加工设备技术领域。双层花篮自循环供收料设备包括:第一升降组件和第二升降组件在第一方向间隔设置,均配置成固定花篮和带动花篮在高度方向升降。第一横移模组,设置于第一升降组件和第二升降组件位于第二方向的一侧,可带动花篮沿第一方向移动和第二方向移动第一输送线和第二输送线,第二输送线间隔设置于第一输送线的上方,第一输送线和第二输送线中的一者与第一横移模组位于同一高度,另一者与第一升降组件对应以向第一升降组件输送花篮。双层花篮自循环供收料设备能够实现高效自动上下料的同时提高空间利用率。
本实用新型双层花篮自循环供收料设备在权利要求书中公布了:1.一种双层花篮自循环供收料设备,其特征在于,包括: 第一升降组件110,配置成固定花篮200和带动花篮200在高度方向升降以配合加工设备将花篮200上未加工的硅片传送至加工设备; 第二升降组件130,与所述第一升降组件110在第一方向间隔设置,配置成固定花篮200和带动花篮200在高度方向升降以配合加工设备将加工完成的硅片依次放置在空的花篮200内; 第一横移模组150,设置于所述第一升降组件110和所述第二升降组件130位于第二方向的一侧,可带动花篮200沿第一方向移动和第二方向移动;其中,所述第一方向和所述第二方向垂直; 第一输送线170和第二输送线180,所述第二输送线180间隔设置于所述第一输送线170的上方,所述第一输送线170和第二输送线180中的一者与所述第一横移模组150位于同一高度,另一者与所述第一升降组件110对应以向所述第一升降组件110输送花篮200; 装有待加工硅片的花篮200输送至所述第一升降组件110后,在所述第一升降组件110和加工设备的配合下将硅片传输至加工设备,取完硅片的空的花篮200会在所述第一升降组件110和所述第一横移模组150的配合下传送至所述第一横移模组150,之后在所述第一横移模组150的带动下沿所述第一方向移动至与所述第二升降组件130对应的位置,所述第二升降组件130上装有处理完的硅片的花篮200会在所述第二升降组件130和所述第一横移模组150的配合下转运至所述第一横移模组150,之后所述第一横移模组150上空的花篮200会在所述第一横移模组150和所述第二升降组件130配合下安装至所述第二升降组件130以装载处理完的硅片。
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