楚赟精工科技(上海)有限公司王东兴获国家专利权
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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利基座中转设备及半导体加工系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223487012U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422677818.9,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型基座中转设备及半导体加工系统是由王东兴;陈凯辉;刘超设计研发完成,并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本基座中转设备及半导体加工系统在说明书摘要公布了:本申请提供一种基座中转设备及半导体加工系统,其中,基座中转设备包括中转室和设置于中转室外并用于转运基座的传输装置,中转室中设置有用于承载基座的缓存装置。缓存装置包括承载本体和若干支撑座。若干支撑座围绕承载本体中部设置,各支撑座沿自承载本体中部指向边缘的方向可滑动的设置于承载本体上,以调整由若干支撑座所围成的用于承载基座的承载区域的大小,提高缓存装置的利用率。支撑座包括升降座以朝向或远离承载本体运动,使得当基座为各支撑座所承载后,能够通过控制升降座使支撑座升高以减小基座上方空间,从而阻止传输装置携新的基座进入以避免叠盘问题。
本实用新型基座中转设备及半导体加工系统在权利要求书中公布了:1.一种基座中转设备,其特征在于,包括中转室和设置于所述中转室外并用于转运基座的传输装置,所述中转室中设置有缓存装置; 所述缓存装置包括承载本体和若干支撑座,若干所述支撑座围绕所述承载本体中部设置,各所述支撑座沿自所述承载本体中部指向边缘的方向可滑动的设置于所述承载本体上,以调整由若干所述支撑座顶部所围成的承载区域的大小,所述承载区域用于承载所述基座; 所述支撑座包括升降座,以朝向或远离所述承载本体运动。
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