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龙图腾网获悉深圳吉阳智能科技有限公司申请的专利花篮自循环供收料设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223487015U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422784910.5，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型花篮自循环供收料设备是由陈荣军;雷杰;冯彪;林瑞;吴学科;阳如坤设计研发完成，并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本花篮自循环供收料设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种花篮自循环供收料设备，涉及半导体加工设备技术领域。花篮自循环供收料设备包括第一升降组件、第二升降组件、横移模组、第一侧移模组和第二输送线。第二升降组件与第一升降组件在第一方向间隔设置。横移模组设置于第一升降组件和第二升降组件位于第二方向的一侧，可带动花篮沿第一方向和第二方向移动。第一侧移模组在第一方向上与第一升降组件对齐设置，且在第二方向上设置于横移模组远离第一升降组件的一侧。第一输送线设置于第一侧移模组靠近第二升降组件的一侧。本申请的花篮自循环供收料设备可提高花篮的转运效率。

本实用新型花篮自循环供收料设备在权利要求书中公布了：1.一种花篮自循环供收料设备，其特征在于，包括： 第一升降组件110，配置成固定花篮和带动花篮在高度方向升降以配合加工设备将花篮上未加工的硅片传送至加工设备； 第二升降组件120，与所述第一升降组件110在第一方向间隔设置，配置成固定花篮和带动花篮在高度方向升降以配合加工设备将加工完成的硅片依次放置在空的花篮内； 横移模组150，设置于所述第一升降组件110和所述第二升降组件120位于第二方向的一侧，可带动花篮沿第一方向和第二方向移动；其中，所述第一方向和所述第二方向垂直； 第一侧移模组130，所述第一侧移模组130在第一方向上与所述第一升降组件110对齐设置，且在第二方向上设置于所述横移模组150远离所述第一升降组件110的一侧，所述第一侧移模组130可与所述横移模组150或所述第一升降组件110配合在第二方向上转运花篮； 第一输送线160，设置于所述第一侧移模组130靠近所述第二升降组件120的一侧，所述第一输送线160用于向所述横移模组150输送装有待加工硅片的花篮。

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