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深圳吉阳智能科技有限公司吴学科获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳吉阳智能科技有限公司申请的专利花篮自循环供收料设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223487016U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422795574.4,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型花篮自循环供收料设备是由吴学科;雷杰;陈荣军;阳如坤设计研发完成,并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

花篮自循环供收料设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种花篮自循环供收料设备,涉及半导体加工设备技术领域。花篮自循环供收料设备包括第一升降组件、第二升降组件、第一横移模组和侧移模组。第二升降组件与第一升降组件在第一方向间隔设置,第一升降组件和第二升降组件均配置成固定花篮和带动花篮在高度方向升降。第一横移模组设置于第一升降组件和第二升降组件位于第二方向的一侧,可带动花篮沿第一方向和第二方向移动;其中,第一方向和第二方向垂直。侧移模组在第一方向上与第二升降组件对齐设置,且在第二方向上设置于第一横移模组远离第二升降组件的一侧,侧移模组可与第一横移模组或第二升降组件配合而在第二方向上转运花篮。花篮自循环供收料设备可提高花篮的转运效率。

本实用新型花篮自循环供收料设备在权利要求书中公布了:1.一种花篮自循环供收料设备,其特征在于,包括: 第一升降组件110,配置成固定花篮和带动花篮在高度方向升降以配合加工设备将花篮上未加工的硅片传送至加工设备; 第二升降组件130,与所述第一升降组件110在第一方向间隔设置,配置成固定花篮和带动花篮在高度方向升降以配合加工设备将加工完成的硅片依次放置在空的花篮内; 第一横移模组150,设置于所述第一升降组件110和所述第二升降组件130位于第二方向的一侧,可带动花篮沿第一方向和第二方向移动;其中,所述第一方向和所述第二方向垂直; 侧移模组140,所述侧移模组140在第一方向上与所述第二升降组件130对齐设置,且在第二方向上设置于所述第一横移模组150远离所述第二升降组件130的一侧,所述侧移模组140可与所述第一横移模组150或所述第二升降组件130配合而在第二方向上转运花篮。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳吉阳智能科技有限公司,其通讯地址为:518100 广东省深圳市宝安区福海街道展城社区福园一路40号德金工业区厂房EF栋101-501、D栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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