上海积塔半导体有限公司何露获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利晶圆吸笔获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223487028U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422684956.X，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型晶圆吸笔是由何露;张静;黄金成;曾繁中;蒋丽;梁梦诗设计研发完成，并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆吸笔在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆吸笔。该晶圆吸笔包括吸笔本体及吸附力监测单元；吸附力监测单元包括：信号接受器，信号接受器中设置有鼓膜，鼓膜的大小跟随吸笔本体与待吸附晶圆之间吸附力的大小变化而变化，信号接受器根据鼓膜大小的变化生成鼓膜大小变化信号；信号转换器，与信号接受器相连接，用于将鼓膜大小变化信号转换为吸附力大小数值；吸附力监测器，与信号转换器相连接，用于获取吸附力大小数值，并根据吸附力大小数值监测吸笔本体与待吸附晶圆之间的吸附力的大小。该晶圆吸笔可以避免吸附力过大导致晶圆表面产生缺陷，同时避免吸附力不足导致晶圆在搬运过程中出现不稳定。
本实用新型晶圆吸笔在权利要求书中公布了：1.一种晶圆吸笔，其特征在于，包括：吸笔本体及吸附力监测单元； 所述吸笔本体用于吸附待吸附晶圆；所述吸附力监测单元安装于所述吸笔本体上，且至少部分地设置于所述吸笔本体内部，用于监测所述吸笔本体与待吸附晶圆之间的吸附力的大小； 所述吸附力监测单元包括： 信号接受器，所述信号接受器中设置有鼓膜，所述鼓膜的大小跟随所述吸笔本体与待吸附晶圆之间所述吸附力的大小变化而变化，所述信号接受器根据所述鼓膜大小的变化生成鼓膜大小变化信号； 信号转换器，与所述信号接受器相连接，用于将所述鼓膜大小变化信号转换为吸附力大小数值； 吸附力监测器，与所述信号转换器相连接，用于获取所述吸附力大小数值，并根据所述吸附力大小数值监测所述吸笔本体与待吸附晶圆之间的所述吸附力的大小。
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