英乐威环保科技(常州)有限公司魏小刚获国家专利权
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龙图腾网获悉英乐威环保科技(常州)有限公司申请的专利硅片加工槽式RCA清洗设备上下料工作台用料框夹爪获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223487032U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422777703.7,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型硅片加工槽式RCA清洗设备上下料工作台用料框夹爪是由魏小刚;苏振定;李军设计研发完成,并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片加工槽式RCA清洗设备上下料工作台用料框夹爪在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种硅片加工槽式RCA清洗设备上下料工作台用料框夹爪,包括底座,安装在机械手的下端,底座的下端安装有两个对称布置、铰接的托块;托块的开合端相对,且托块处于共线位置时间隙配合,其间隙配置为托块打开时不会发生碰撞;底座上安装有限位组件,当托块共线时,托块只能向上或向下一侧打开;底座上还设置有气缸,在传动组件的作用下驱动托块顺时针或逆时针转动180°,使得托块共线时,能够向上或向下打开。本实用新型通过夹爪仅进行升降的操作就可以实现抓取或脱离料框,不仅结构简单,还缩小了RCA清洗设备的体积,因此降低了成本。
本实用新型硅片加工槽式RCA清洗设备上下料工作台用料框夹爪在权利要求书中公布了:1.一种硅片加工槽式RCA清洗设备上下料工作台用料框夹爪,包括底座1,安装在机械手的下端,其特征在于: 所述底座1的下端安装有两个对称布置、铰接的托块2; 所述托块2的开合端相对,且所述托块2处于共线位置时间隙配合,其间隙配置为所述托块2打开时不会发生碰撞; 所述底座1上安装有限位组件,当所述托块2共线时,所述托块2只能向上或向下一侧打开; 所述底座1上还设置有气缸3,在传动组件的作用下驱动所述托块2顺时针或逆时针转动180°,使得所述托块2共线时,能够向上或向下打开。
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