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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利基板夹持装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223487034U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422886784.4，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型基板夹持装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板夹持装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种基板夹持装置，该基板夹持装置包括：第一驱动件具有输出轴；转盘连接于输出轴并可在第一驱动件的驱动力下跟随输出轴旋转；保持组件包括多个绕转盘的轴线周向分布的卡持件，每个卡持件通过转轴与转盘连接，卡持件包括设置转轴两侧的夹爪部和抵持部，抵持部朝向转盘的一侧连接有弹性件；施加作用力至抵持部，抵持部克服弹性件的弹性力沿转轴逆时针转动，以带动夹爪部向外移动；撤销施加至抵持部的作用力，抵持部在弹性件的弹性力作用下沿转轴顺时针转动，以带动夹爪部向内移动。该基板夹持装置能够大大降低基板因过于集中的应力而出现裂纹、崩边等现象，进一步提高该基板夹持装置的夹持效果。

本实用新型基板夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种基板夹持装置，其特征在于，包括： 第一驱动件，具有输出轴110； 转盘20，连接于所述输出轴110，并可在所述第一驱动件的驱动力下跟随所述输出轴110旋转； 保持组件30，包括多个绕所述转盘20的轴线周向分布的卡持件320，每个所述卡持件320通过转轴310与所述转盘20连接，所述卡持件320包括设置在所述转轴310两侧的夹爪部321和抵持部323，所述抵持部323朝向所述转盘20的一侧连接有弹性件340； 施加作用力至所述抵持部323，所述抵持部323克服所述弹性件340的弹性力沿所述转轴310逆时针转动，以带动所述夹爪部321向外移动； 撤销施加至所述抵持部323的作用力，所述抵持部323在所述弹性件340的弹性力作用下沿所述转轴310顺时针转动，以带动所述夹爪部321向内移动； 第二驱动件40，可相对于所述抵持部323运动，用于为所述抵持部323提供作用力或撤销施加至所述抵持部323上的作用力。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏芯梦半导体设备有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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