上海华力集成电路制造有限公司夏禹获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力集成电路制造有限公司申请的专利OPC建模过程中调整数据权重的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115951563B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211049648.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权OPC建模过程中调整数据权重的方法是由夏禹设计研发完成，并于2022-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本OPC建模过程中调整数据权重的方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种OPC建模过程中调整数据权重的方法，获取晶圆的ADI关键尺寸数据，根据ADI关键尺寸生成第一数据文件；根据数据文件形成多个量测点，量测点用于形成opc模型，设置每个量测点的权重设置规则；根据权重设置规则设置每个量测点的初始权重，之后进行光学模拟形成opc模型；根据权重设置规则调整每个量测点的权重，根据调整后的权重形成第二数据文件；根据第二数据文件迭代opc模型；重复执行上述的方法迭代opc模型至其边缘放置误差满足目标值。本发明通过事先设置的权重设置规则自动遍历数据文件，修改权重后输出新的数据文件进行下一步的拟合优化；从而缩短了建模时间，并且避免了由于手动调整引起的错误。
本发明授权OPC建模过程中调整数据权重的方法在权利要求书中公布了：1.一种OPC建模过程中调整数据权重的方法，其特征在于，至少包括： 步骤一、获取晶圆的ADI关键尺寸数据，根据所述ADI关键尺寸生成第一数据文件； 步骤二、根据所述数据文件形成多个量测点，所述量测点用于形成opc模型，设置每个所述量测点的权重设置规则； 步骤三、根据所述权重设置规则设置每个所述量测点的初始权重，之后进行光学模拟形成所述opc模型； 步骤四、根据所述权重设置规则调整每个所述量测点的权重，根据调整后的权重形成第二数据文件； 步骤五、根据所述第二数据文件迭代所述opc模型； 步骤六、重复执行步骤四、五的方法迭代所述opc模型至其边缘放置误差满足目标值。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海华力集成电路制造有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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