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龙图腾网获悉天津大学申请的专利一种基于反射系数测量的自动阻抗匹配系统及方法及应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116075031B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310104818.7，技术领域涉及：H05H1/24；该发明授权一种基于反射系数测量的自动阻抗匹配系统及方法及应用是由房丰洲;张晨华;吕鹏;杨昕航设计研发完成，并于2023-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于反射系数测量的自动阻抗匹配系统及方法及应用在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于反射系数测量的自动阻抗匹配系统及方法及应用，匹配系统包括匹配网络，反射计模块及控制模块。所述反射计模块串联在匹配网络与射频电源之间，所述反射计模块用于测量射频电源输出端的反射系数，所述反射系数包括幅值和相位两部分信息；所述控制模块串联在反射计模块与匹配网络之间，所述控制模块通过调节所述匹配网络进而改变反射系数在Smith圆图上的位置，使其无限接近Smith圆图的原点，射频电源显示反射功率为0，实现阻抗匹配。本发明提供了一种快速、便捷、准确的等离子体激发装置匹配方法。此方法避免了盲目的操作，简化了等离子体激发装置的匹配过程。

本发明授权一种基于反射系数测量的自动阻抗匹配系统及方法及应用在权利要求书中公布了：1.一种基于反射系数测量的自动阻抗匹配系统，包括匹配网络，其特征在于，还包括：反射计模块及控制模块， 所述反射计模块串联在匹配网络与射频电源之间，所述反射计模块用于测量射频电源输出端的反射系数，所述反射系数包括幅值和相位两部分信息； 所述控制模块通过调节所述匹配网络进而改变反射系数在Smith圆图上的位置，使其无限接近Smith圆图的原点，射频电源显示反射功率为0，实现阻抗匹配； 所述反射计模块包括： 定向耦合器、所述定向耦合器从线路中耦合出两路入射信号及一路反射信号； 衰减器、所述衰减器用于压缩第一路入射信号及反射信号的幅值； 移相器、所述移相器将第二路入射信号改变为相移信号； 功率分配器、所述功率分配器将相移信号、衰减过的入射信号和反射信号一分为二； 矢量功率计、所述矢量功率计连接在功率分配器的信号输出端，用于鉴别一分为二后的两路信号的幅值比和相位差； 及第一单片机，所述第一单片机控制模数转换器读取矢量功率计的测量结果，经处理后得到反射系数，通过显示屏显示结果，或发送给调节匹配网络的自动控制模块。

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