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龙图腾网获悉杭州长川科技股份有限公司申请的专利位置误差补偿方法、装置、电子设备及非易失性存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116110828B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310119923.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权位置误差补偿方法、装置、电子设备及非易失性存储介质是由梁思文;陈思乡;杨奉利;戴啟辉;欧阳清华设计研发完成，并于2023-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本位置误差补偿方法、装置、电子设备及非易失性存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种位置误差补偿方法、装置、电子设备及非易失性存储介质。其中，该方法包括：获取与目标晶圆对应的空白正交补偿表，其中，空白正交补偿表中各单元对应目标晶圆上各晶粒所在的位置；填充空白正交补偿表中各单元对应的第一补偿值，得到目标正交补偿表；依据目标正交补偿表，计算目标位置对应的第二补偿值，其中，目标位置为上位机期望运动部件移动到的任一位置；依据第二补偿值，对运动部件的实际移动位置进行补偿，其中，补偿后的实际移动位置为目标位置。本申请解决了由于相关技术中移动探针台的运动部件在移动至上位机指示的目标位置时，存在位置偏差，造成运动部件移动精度差的技术问题。

本发明授权位置误差补偿方法、装置、电子设备及非易失性存储介质在权利要求书中公布了：1.一种位置误差补偿方法，其特征在于，包括： 获取与目标晶圆对应的空白正交补偿表，其中，所述空白正交补偿表中各单元对应所述目标晶圆上各晶粒所在的位置； 填充所述空白正交补偿表中各单元对应的第一补偿值，得到目标正交补偿表，包括：标定所述空白正交补偿表中边缘一周的单元对应的数据为第一标定值；通过遍历所述目标晶圆上各晶粒，确定所述各晶粒对应的偏差值，并在存在所述偏差值的情况下，确定所述偏差值为所述晶粒对应的所述空白正交补偿表中单元的所述第一补偿值；在不存在所述偏差值的情况下，标定所述晶粒对应的所述空白正交补偿表中单元的数据为所述第一标定值；依据第一目标规则对所述空白正交补偿表中的所述第一标定值进行修正，并确定修正后的所述空白正交补偿表为所述目标正交补偿表； 依据所述目标正交补偿表，计算目标位置对应的第二补偿值，包括：在所述目标位置为所述目标正交补偿表中所述单元所对应的位置的情况下，确定所述单元的所述第一补偿值为所述第二补偿值；在所述目标位置不为所述目标正交补偿表中所述单元所对应的位置的情况下，确定所述目标正交补偿表中与所述目标位置对应的四个第二辅助单元，其中，所述目标位置位于所述四个第二辅助单元对应的位置围成的区间之内；依据所述四个辅助单元的所述第一补偿值，确定所述目标位置对应的所述第二补偿值，其中，所述目标位置为上位机期望运动部件移动到的任一位置； 依据所述第二补偿值，对所述运动部件的实际移动位置进行补偿，其中，补偿后的实际移动位置为所述目标位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州长川科技股份有限公司，其通讯地址为：310000 浙江省杭州市滨江区聚才路410号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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