京瓷株式会社浜岛浩获国家专利权
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龙图腾网获悉京瓷株式会社申请的专利夹紧用夹具、夹紧用夹具的制造方法以及清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116323019B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180068330.2，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权夹紧用夹具、夹紧用夹具的制造方法以及清洗装置是由浜岛浩设计研发完成，并于2021-10-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本夹紧用夹具、夹紧用夹具的制造方法以及清洗装置在说明书摘要公布了：本发明的夹紧用夹具包括：支柱部；把持部，其位于支柱部的一方的端部，并用于把持基板的外周部；以及基部，其位于支柱部的另一方的端部，并用于支承支柱部。至少基部包含以碳化硅为主成分的陶瓷。在基部中，在上侧主面存在的碳比在上侧主面以外的部分存在的碳少。
本发明授权夹紧用夹具、夹紧用夹具的制造方法以及清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种夹紧用夹具，其中， 所述夹紧用夹具包括： 支柱部； 把持部，其位于该支柱部的一方的端部，并用于把持基板的外周部；以及 基部，其位于所述支柱部的另一方的端部，并用于支承所述支柱部， 至少所述基部包含以碳化硅为主成分的陶瓷， 在所述基部中，在上侧主面存在的碳比在该上侧主面以外的部分存在的碳少。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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