合肥图迅电子科技有限公司刘桂宝获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥图迅电子科技有限公司申请的专利一种晶圆缺陷检测装置及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116399882B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310446688.5，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种晶圆缺陷检测装置及检测方法是由刘桂宝;张祥明;刘圣祥设计研发完成，并于2023-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆缺陷检测装置及检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆缺陷检测装置及检测方法，属于晶圆检测技术领域。针对现有技术中存在的相机检测晶圆覆蓝膜后的表面质量和切割质量效率低下、检测不全面等问题，本发明提供的一种晶圆缺陷检测装置及检测方法，在标定环上等距设置若干个标定板，标定环连接散光板，标定板、标定环以及散光板组成标定装置，电路板固定设置在第二光源零件上，电路板、第二光源零件组成背光装置，第一光源零件的一端连接所述标定装置，第一光源零件的另一端连接背光装置，所述标定装置、第一光源零件以及背光装置组成晶圆缺陷检测装置。通过将标定板固定在标定环上避免反复标定相机与晶圆的位置关系，从而节约检测时间，有效提高检测效率。
本发明授权一种晶圆缺陷检测装置及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述检测装置包括标定板1、标定环2、散光板3、第一光源零件4、电路板5以及第二光源零件6；所述标定环2上等距分布若干个标定板1，所述标定环2连接散光板3，所述标定板1、标定环2以及散光板3组成标定装置；所述电路板5固定设置在第二光源零件6上，所述电路板5、第二光源零件6组成背光装置；所述第一光源零件4的一端连接所述标定装置，所述第一光源零件4的另一端连接背光装置，所述标定装置、第一光源零件4以及背光装置组成所述检测装置；沿光源方向依次为电路板5、第一光源零件4、散光板3以及标定环2，所述标定板1上设置有闭合环状标记，所述检测装置上等距设置若干个排气孔8，等距分布的标定板1以其上分布地圆环状标记的中心为原点，连接四块等距分布的标定板1形成直角坐标系。
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