法博思(宁波)半导体设备有限公司宋金龙获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉法博思(宁波)半导体设备有限公司申请的专利可判别<110>晶向和<100>晶向的晶圆翘曲度量测方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116518873B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310464359.3，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权可判别<110>晶向和<100>晶向的晶圆翘曲度量测方法及设备是由宋金龙;朱建国设计研发完成，并于2023-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本可判别<110>晶向和<100>晶向的晶圆翘曲度量测方法及设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种可判别晶向和晶向的晶圆翘曲度量测方法及设备，该方法包括：将待量测晶圆放置在三个支撑点上，三个支撑点构成顶角为45°的等腰三角形，使晶圆的中心与等腰三角形的外心重合，在晶圆上规划采集翘曲度的采样路径，沿采样路径采集得到晶圆的形貌信息，计算获得去干扰因素的翘曲度值，根据翘曲度值判定晶圆的晶向。这种量测方法适用于晶圆物料主要是晶向及晶向两种的工厂或企业，该方法可在量测晶圆形貌的同时进行晶向判定，相比现有技术中通过不同设备、工序分别对晶圆翘曲度量测和晶向判定，本申请提供的量测方法一举多得，操作步骤简单，检测效率高，判定准确可靠，贴合实际生产需求。
本发明授权可判别<110>晶向和<100>晶向的晶圆翘曲度量测方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种可判别110晶向和100晶向的晶圆翘曲度量测方法，其特征在于，包括如下步骤： S1：根据待量测晶圆的大小，选择尺寸适应的三点支撑结构；所述三点支撑结构包括三个用以吸附或释放晶圆的支撑点，三个支撑点在水平面上鼎立式分布，构成顶角为45°的等腰三角形； S2：将待量测晶圆置于三点支撑结构上，且使得待量测晶圆的中心点与顶角为45°的等腰三角形的外心重合； S3：在待量测晶圆上规划采样路径，所述采样路径为多条交汇于待量测晶圆中心点的直线，通过量测设备上的探头对所述直线进行依次采样； S4：当探头完成对一条直线的数据采样后，以晶圆中心点为旋转中心，将晶圆旋转预设角度，使得探头对下一条直线进行采样； S5：当探头完成对每条直线的数据采样后，通过计算机处理系统对采集的数据进行去干扰处理，计算得到翘曲度值； S6：根据所述翘曲度值判定晶圆晶向。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人法博思(宁波)半导体设备有限公司，其通讯地址为：315000 浙江省宁波市余姚市三七市镇云山中路28号(千人计划产业园内)(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励