盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司王晓晨获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司申请的专利一种静电卡盘组件检漏装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116558719B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310602122.7，技术领域涉及：G01M3/02；该发明授权一种静电卡盘组件检漏装置及方法是由王晓晨;张建;苏宇;郭鑫;李伟阳;马宏坤设计研发完成，并于2023-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电卡盘组件检漏装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种静电卡盘组件检漏装置及方法，属于半导体设备技术领域，其中检漏装置包括有检漏基座，检漏基座为上方开口的盒形，在检漏基座的上方依次设置有密封接口法兰和上盲板并在其内部形成密封腔；密封接口法兰的上表面开设有上密封槽并在其中设置有密封胶圈；上盲板与密封接口法兰之间为可拆卸连接；在检漏基座上还设置有检漏连接部。本方案实现了在静电卡盘组件安装于设备腔室之前单独进行检漏，解决现有设备检漏及排查静电卡盘是否有泄露效率低的问题，并且结构简单、便于客户端使用、检测效率高。
本发明授权一种静电卡盘组件检漏装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘组件检漏装置，其特征在于，包括有检漏基座3，所述检漏基座3为上方开口的盒形，在所述检漏基座3的上方依次设置有密封接口法兰2和上盲板1并在其内部形成密封腔5；所述密封接口法兰2的上表面开设有上密封槽21并在其中设置有密封胶圈；所述上盲板1与所述密封接口法兰2之间为可拆卸连接；在所述检漏基座3上还设置有检漏连接部4；在对所述静电卡盘组件6进行检漏时，将所述上盲板1卸下，将静电卡盘组件6与所述密封接口法兰2相密封连接，且所述静电卡盘组件6为正放于所述密封接口法兰2上，所述静电卡盘组件6的底部下方位于所述密封腔5并在检漏时形成真空，所述静电卡盘组件6的上方处于大气环境中，以能够直接接触所述静电卡盘组件6进行检查、排查漏点。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司，其通讯地址为：315137 浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村宁裘路78号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励