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龙图腾网获悉中北大学申请的专利一种基于蠕动电极的MEMS气动控制微系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116788499B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310272914.2，技术领域涉及：B64C13/50；该发明授权一种基于蠕动电极的MEMS气动控制微系统是由石云波;赵锐;栗文凯;沈富明;马昊天;李艳设计研发完成，并于2023-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于蠕动电极的MEMS气动控制微系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于蠕动电极的MEMS气动控制微系统，涉及微型飞行器控制领域。该系统包括致动器、传递器、控制面及反馈器，致动器主要包括蠕动电极、驱动臂和位移梭结构；传递器包括传递梁、旋转槽和杠杆结构；控制面包括固定卡槽和垂直机翼，通过对垂直机翼的偏转角度的调节来完成对飞行器轨迹的调控；反馈器包括偏转梁、扩散电阻和固定锚点，采用微小应力变化敏感的特点来实现对复杂的气动升力的测量。本发明使用蠕动电极结构作为致动器的动力产生部分，借助其可积累力和位移的特点，实现了高的气动升力的产生，同时减小了系统的整体面积。借助压阻式传感器进行反馈调节，减少了复杂的气动升力的测量过程，同时也为系统的自调节提供了帮助。

本发明授权一种基于蠕动电极的MEMS气动控制微系统在权利要求书中公布了：1.一种基于蠕动电极的MEMS气动控制微系统，其特征在于：包括致动器、传递器、控制面3与反馈器，所述致动器包括左侧致动器1与右侧致动器5，所述传递器包括左侧传递器2与右侧传递器6，所述反馈器包括左侧反馈器4与右侧反馈器7；所述左侧致动器1与右侧致动器5结构高度对称，所述左侧传递器2与右侧传递器6结构高度对称，所述左侧反馈器4与右侧反馈器7结构高度对称； 所述左侧致动器1包括四个蠕动电极、四个驱动臂和位移梭，所述蠕动电极通过驱动臂与位移梭连接，四个蠕动电极与四个驱动臂分别对应；四个蠕动电极包括左侧1号蠕动电极8、左侧2号蠕动电极9、左侧3号蠕动电极10、左侧4号蠕动电极11，所述位移梭包括位移梁107、啮合齿109和固定弹簧框108，所述位移梁107呈方形柱状且左右侧面设有啮合齿109，所述固定弹簧框108固定连接于位移梁107的底部；所述驱动臂包括驱动梁105和驱动滑块106，所述驱动梁105通过驱动滑块106与位移梁107的啮合齿面连接，所述驱动滑块106与位移梁107接触的面上设置有与啮合齿109相匹配的齿状结构；所述左侧3号蠕动电极10与左侧4号蠕动电极11结构相同且位于位移梁107左侧，所述左侧1号蠕动电极8与左侧2号蠕动电极9结构相同且位于位移梁107右侧，所述位移梁107左侧的蠕动电极与右侧的蠕动电极高度对称；每个蠕动电极均包括活动齿梳101、固定齿梳102、两根固定弹簧梁103和两个限位块104，所述固定齿梳102设有两个，位置为上下正对固定，即梳齿与间隙分别正对；所述活动齿梳101包括梳齿部与限位部，所述梳齿部为一根横杆上下侧固定设有梳齿，且梳齿部上侧边的梳齿与上方固定齿梳102的梳齿相匹配并插入，梳齿部下侧边的梳齿与下方固定齿梳102的梳齿相匹配并插入，所述固定齿梳102内的间隙满足活动齿梳101的梳齿移动需要；两根固定弹簧梁103垂直连接于活动齿梳101的横杆上且分别位于梳齿部两端部的上下侧；所述驱动梁105连接于活动齿梳101的横杆一端，所述限位部连接于活动齿梳101的横杆另一端，两个限位块104位于限位部与梳齿部之间，且分别位于杠杆的上下侧； 所述左侧传递器2包括传递梁201、旋转槽202、杠杆结构203、万向节204与防脱连线205，所述传递梁201的一端与位移梁107的顶端连接，所述传递梁201的另一端与万向节204连接，所述万向节204卡于旋转槽202内且与旋转槽202匹配使用，而且万向节204与旋转槽202的外侧通过防脱连线205连为一体，所述旋转槽202设于杠杆结构203的一端，所述杠杆结构203的另一端连接右侧传递器6对应的旋转槽202，所述杠杆结构203的中间为支点，支点包括一个旋转槽202与万向节204，支点处的万向节204与旋转槽202的外侧也通过防脱连线205连为一体； 所述控制面3包括两个固定卡槽301与垂直机翼302，两个固定卡槽301上设有卡齿结构，所述垂直机翼302通过卡齿结构安装于两个固定卡槽301内侧，所述固定卡槽301的底部固定安装于杠杆结构203的支点上部； 所述左侧反馈器4包括偏转梁401、固定锚点402和扩散电阻403，所述偏转梁401包括垂直固定连接的中间连杆与锚点连接杆，所述中间连杆水平设置且一端连接于锚点连接杆的中点位置，所述中间连杆另一端连接于固定卡槽301的中部，所述锚点连接杆竖直设置、且两端连接固定锚点402，所述扩散电阻403设有两个且设置于锚点连接杆上，所述扩散电阻403分布于中间连杆的上下侧。

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