铠侠股份有限公司石丸友纪获国家专利权
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龙图腾网获悉铠侠股份有限公司申请的专利成膜装置和成膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116949427B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310088366.8，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权成膜装置和成膜方法是由石丸友纪;户田将也;高桥恒太;虎谷健一郎;松尾和展设计研发完成，并于2023-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本成膜装置和成膜方法在说明书摘要公布了：本发明的实施方式涉及能够缩短成膜时间的成膜装置和成膜方法。实施方式的成膜装置具备：包含侧壁的腔室；设在腔室上部的喷淋头；设在腔室中并用于保持基板的保持器；向喷淋头供给第1气体的第1气体供给管；设在第1气体供给管上的第1阀；设在腔室的除喷淋头以外的区域上的气体供给部；向气体供给部供给第2气体的第2气体供给管；设在第2气体供给管上的第2阀；从腔室排出气体的气体排出管；以及与气体排出管连接的排气装置。
本发明授权成膜装置和成膜方法在权利要求书中公布了：1.一种成膜装置，具备： 包含侧壁的腔室； 设在所述腔室上部的喷淋头； 设在所述腔室中并用于保持基板的保持器； 向所述喷淋头供给第1气体的第1气体供给管； 设在所述第1气体供给管上的第1阀； 设在所述腔室的除所述喷淋头以外的区域上的气体供给部； 向所述气体供给部供给第2气体的第2气体供给管； 设在所述第2气体供给管上的第2阀； 从所述腔室排出气体的气体排出管；以及 与所述气体排出管连接的排气装置， 当供给所述第2气体时，所述第1气体向所述基板表面的吸附效率提高。
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