安徽禾臣新材料有限公司李加海获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽禾臣新材料有限公司申请的专利一种半导体抛光用白垫及其生产工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117020933B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311005669.5,技术领域涉及:B24B37/11;该发明授权一种半导体抛光用白垫及其生产工艺是由李加海;杨惠明;李元祥设计研发完成,并于2023-08-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体抛光用白垫及其生产工艺在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体抛光用白垫,包括纳米纤维夹层部,纳米纤维夹层部设置在抛光白垫主体的内部中间,圆环连接部设置在抛光白垫主体的上端外部,均质主体层设置在纳米纤维夹层部的下端面,高平坦度抛光部设置在均质主体层的下端;高平坦度抛光部包括聚氨酯抛光基层和填充层,聚氨酯抛光基层包括改性聚氨酯120~150份,聚氨酯胶黏剂30~45份,本发明由改性聚氨酯制备得到的白垫具有着良好的耐磨性能、耐高温性能和抗氧化性能。
本发明授权一种半导体抛光用白垫及其生产工艺在权利要求书中公布了:1.一种半导体抛光用白垫,包括纳米纤维夹层部,纳米纤维夹层部设置在抛光白垫主体的内部中间,圆环连接部设置在抛光白垫主体的上端外部,均质主体层设置在纳米纤维夹层部的下端面,高平坦度抛光部设置在均质主体层的下端;其特征在于,高平坦度抛光部包括聚氨酯抛光基层和填充层,聚氨酯抛光基层包括改性聚氨酯120~150份,聚氨酯胶黏剂30~45份; 改性聚氨酯制备工艺包括以下步骤: 步骤1:将聚四氢呋喃二元醇置于反应容器中,滴加甲苯−2,4-二异氰酸酯,再加入促进剂二月桂酸二丁基锡;加入质量分数为8%的1,2,4-苯三甲酸酐的N,N-二甲基甲酰胺溶液,反应3h,得到聚氨酯低聚物; 步骤2:叔丁醇钾、甲基硅烷三醇、3-十二烷基硫代丙酸甲酯,升温反应,得到中间体; 步骤3:将聚氨酯低聚物加入到中间体中,在100℃下持续搅拌反应2h后,得到改性聚氨酯低聚物; 步骤4:将改性聚氨酯低聚物继续搅拌冷却至35-45℃,加入活性化合物,冷却至室温,加入阻聚剂、自由基引发剂,再继续搅拌15-30min,即得到改性聚氨酯。
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