应用材料公司T·李获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利基于电机转矩监测期间的压力信号以提供空间分辨率的计算机程序产品、抛光方法及抛光系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117083152B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280025107.4，技术领域涉及：B24B49/10；该发明授权基于电机转矩监测期间的压力信号以提供空间分辨率的计算机程序产品、抛光方法及抛光系统是由T·李;B·切里安设计研发完成，并于2022-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于电机转矩监测期间的压力信号以提供空间分辨率的计算机程序产品、抛光方法及抛光系统在说明书摘要公布了：一种抛光方法包含：用承载头将基板保持抵靠在抛光垫的抛光表面上；产生基板与抛光垫之间的相对运动；向基板的第一区域施加由第一调制函数调制的第一压力；向基板的第二区域施加由第二调制函数调制的第二压力，第二调制函数与第一调制函数正交；在基板的抛光期间，用原位摩擦监测系统监测基板以产生测量值序列；以及基于区分第一频率与第二频率来确定第一区域和第二区域对测量值序列的相对贡献。
本发明授权基于电机转矩监测期间的压力信号以提供空间分辨率的计算机程序产品、抛光方法及抛光系统在权利要求书中公布了：1.一种计算机程序产品，包含非暂时性计算机可读介质，所述非暂时性计算机可读介质具有用于使一个或多个计算机进行以下操作的指令： 在基板的抛光期间，使抛光系统的承载头向所述基板的第一区域施加由第一调制函数调制的第一压力； 使所述抛光系统的所述承载头向所述基板的不同的第二区域施加由第二调制函数调制的第二压力，所述第二调制函数与所述第一调制函数正交； 从原位摩擦监测系统接收测量值序列；以及 基于区分所述第一调制函数与所述第二调制函数来确定所述第一区域和所述第二区域对所述测量值序列的相对贡献。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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