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龙图腾网获悉郑州大学申请的专利钼氧比可控的非化学计量氧化钼靶材的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117125982B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311127578.9，技术领域涉及：C23C14/08；该发明授权钼氧比可控的非化学计量氧化钼靶材的制备方法是由杨凯军;徐晓晴;李庆奎;吴小超;李禹静;朱锦鹏;孙本双;王成铎;何季麟设计研发完成，并于2023-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本钼氧比可控的非化学计量氧化钼靶材的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种钼氧比可控的非化学计量氧化钼靶材的制备方法。该制备方法包括：S1、煅烧钼酸铵得到MoO3粉末；S2、MoO3粉末与氢气发生反应，得到非化学计量比钼氧化物粉体；非化学计量比钼氧化物粉体中，Mo9O26的质量含量为0％～99％，Mo4O11的质量含量为20％～86％，MoO2的质量含量为0％～40％；S3、非化学计量比钼氧化物粉体模压成型；S4、成型的非化学计量比钼氧化物粉体在设定条件下烧结，得到特定钼氧比的非化学计量氧化钼靶材，其中，钼原子与氧原子比为1：2～3。本发明公开的钼氧比可控的非化学计量氧化钼靶材的制备方法，其制备工艺简单，反应条件可控，制备得到的非化学计量氧化钼靶材致密性好。

本发明授权钼氧比可控的非化学计量氧化钼靶材的制备方法在权利要求书中公布了：1.钼氧比可控的非化学计量氧化钼靶材的制备方法，其特征在于，包括步骤： S1、煅烧钼酸铵得到MoO3粉末；所述钼酸铵的煅烧温度为400～600℃，所述钼酸铵的煅烧时间为1～6h； S2、MoO3粉末与氢气发生反应，得到非化学计量比钼氧化物粉体；所述非化学计量比钼氧化物粉体中，Mo9O26的质量含量为0%~99%，Mo4O11的质量含量为20%~86%，MoO2的质量含量为0%~40%，且三者的质量含量总和为100%；具体包括： 称取MoO3粉末置于坩埚中，形成厚度为5～30mm的料层； 将坩埚放入管式炉中，坩埚与管式炉炉顶之间的距离为2～3cm； 向管式炉中通入氩气作为保护气氛，并调升管式炉的温度； 待管式炉升至设定温度时，向管式炉中通入一定流量的氢气，MoO3与氢气发生还原反应，得到所述非化学计量比钼氧化物粉体，其中，钼原子与氧原子比为1：2～3，且氧原子不取值2和3；所述管式炉的温度为450～600℃，所述氢气的流量为10～200sccm，所述还原反应的时间为20～200min； S3、所述非化学计量比钼氧化物粉体模压成型； S4、将成型的非化学计量比钼氧化物粉体设置在放电等离子烧结炉中； 设置放电等离子烧结炉的烧结温度、保压压力和保温时间；其中，烧结温度为650～790℃，保压压力为30～100MPa，保温时间为5～30min； 烧结得到特定钼氧比的非化学计量氧化钼靶材；其中，钼原子与氧原子比为1：2～3。

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