长春人造树脂厂股份有限公司庄子毅获国家专利权
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龙图腾网获悉长春人造树脂厂股份有限公司申请的专利光阻膜及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117631439B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310582851.0，技术领域涉及：G03F1/50；该发明授权光阻膜及其应用是由庄子毅;吴允中;何义明设计研发完成，并于2023-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本光阻膜及其应用在说明书摘要公布了：本发明提供一种光阻膜及其应用。该光阻膜具有一单位为微米的厚度T，且该光阻膜以紫外光‑可见光光谱术测定时，对波长405纳米的光具有吸光度A405nm，对波长436纳米的光具有吸光度A436nm，其中0A405nmT≦0.006且0A436nmT≦0.005，且该厚度T为60微米至600微米。
本发明授权光阻膜及其应用在权利要求书中公布了：1.一种用于包含波长405纳米、436纳米、及365纳米的光的曝光光源的光阻膜，其特征在于，其具有一单位为微米的厚度T，且该光阻膜以紫外光-可见光光谱术测定时，对波长405纳米的光具有吸光度A405nm，对波长436纳米的光具有吸光度A436nm，对波长365纳米的光具有吸光度A365nm，其中0A405nmT≦0.006且0A436nmT≦0.004，0A365nmT≦0.010，且该厚度T为60微米至600微米， 该紫外光-可见光光谱术利用紫外光-可见光分光光度计于以下条件下进行：光阻膜以垂直于入射光源方向的方式放置；配置绕射光栅作为分光器；测试温度为25℃；测试压力为1大气压；分析模式为吸光度；扫描波长范围为190纳米至1100纳米；空白样品为空气；扫描速度为2200纳米／分钟；由氘灯切换至钨丝灯的灯源切换波长为340.8纳米；取样间距为0.2纳米；以及狭缝宽度为2.0纳米。
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