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龙图腾网获悉浙江工业大学;杭州智谷精工有限公司申请的专利电极间隙精密可调的等离子体刻蚀装置及调整方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119864269B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510026667.7，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权电极间隙精密可调的等离子体刻蚀装置及调整方法是由袁巨龙;董燕芳设计研发完成，并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本电极间隙精密可调的等离子体刻蚀装置及调整方法在说明书摘要公布了：本发明公开了电极间隙精密可调的等离子体刻蚀装置及调整方法，本发明的刻蚀装置包括真空腔室，所述真空腔室内设有上电极组件、下电极组件、龙门架、丝杆组件、距离传感器，所述距离传感器成组设于上电极组件上，所述下电极组件固定于真空腔室底部，所述上电极组件与龙门架固定连接；所述龙门架的两端分别与丝杆组件相连。本发明的刻蚀装置能够精密调节上电极与工件之间的间隙和角度，促进等离子体均匀分布，提高加工的均匀性和一致性；同时，设置冷却系统，能够有效控制刻蚀装置内的温度波动。本发明的调整方法，能够在刻蚀过程中不断精密调整上电极喷嘴与工件之间的距离，保持上电极喷嘴与工件的加工距离恒定，提供更高效、更稳定的加工能力。

本发明授权电极间隙精密可调的等离子体刻蚀装置及调整方法在权利要求书中公布了：1.电极间隙精密可调的等离子体刻蚀装置，包括真空腔室1；其特征在于：所述真空腔室1内设有上电极组件2、下电极组件3、龙门架4、丝杆组件5及距离传感器6；所述距离传感器6成组设于上电极组件2上，所述下电极组件3固定于真空腔室1底部，所述上电极组件2与龙门架4固定连接；所述龙门架4的两端分别与相应的丝杆组件5相连，能够调节上电极组件2与工件10之间的距离和角度；所述真空腔室1的壳体上插设有工艺气体入口管11和工艺气体出口管12； 所述上电极组件2包括上绝缘环201、气体分配器202和上电极气体喷嘴203；所述气体分配器202与工艺气体入口管11相连，所述气体分配器202通过上绝缘环201与龙门架4固定连接；所述气体分配器202下端连接上电极气体喷嘴203，所述工艺气体入口管11能够将工艺气体运输至气体分配器202进行均匀分配，再通过上电极气体喷嘴203喷射到上电极组件2和下电极组件3之间的间隙； 所述下电极组件3包括下电极工作台301和旋转电机302；所述旋转电机302的定子部分与真空腔室1底部固定连接，所述旋转电机302的转子部分与下电极工作台301相连接；所述下电极工作台301内设有温度传感器和冷却系统7； 所述距离传感器6沿上电极气体喷嘴203的周向均匀设置，数量为3-10个； 所述丝杆组件5包括丝杆架501和调整滑块503，所述丝杆架501上设有两个调整电机502，所述调整电机502的输出端连有丝杆504；所述调整滑块503同时与两根丝杆504间隙配合形成传动连接，所述龙门架4与调整滑块503固定连接，从而能够通过调整电机502调节龙门架4的位置； 所述上电极气体喷嘴203的表面经粗糙化处理。

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