中南大学孙威获国家专利权
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龙图腾网获悉中南大学申请的专利一种消除碳化物涂层表面吸附碳的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120398579B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510918702.6,技术领域涉及:C04B41/89;该发明授权一种消除碳化物涂层表面吸附碳的方法是由孙威;张雨萌;熊翔;曾玉林;董天下;刘泽恩;孙栋;徐杰设计研发完成,并于2025-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种消除碳化物涂层表面吸附碳的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种消除碳化物涂层表面吸附碳的方法,将含缺陷碳化物涂层的基体进行等离子活化处理,然后将修复浆料涂覆于含缺陷涂层的基体的表面获得修复浆料层,干燥后,进行烧结即得;本发明的方法能够通过涂刷的浆料与涂层表面的吸附碳定量反应,恢复表面CM化学计量比至0.9‑1.03,同时涂层致密无缺陷,本发明的方法特别适用于半导体长晶用石墨基体热场部件的涂层修复,可显著提高晶体生长质量。
本发明授权一种消除碳化物涂层表面吸附碳的方法在权利要求书中公布了:1.一种消除碳化物涂层表面吸附碳的方法,其特征在于:将含缺陷碳化物涂层的基体进行等离子活化处理,然后将修复浆料涂覆于含缺陷涂层的基体的表面获得修复浆料层,干燥后,进行烧结即得; 所述修复浆料,按质量百分比计,组成如下:碳化物粉末60-70wt%,氧化物粉末1-2wt%,粘结剂0.5-1.5wt%,分散剂0.5-1.5wt%,烧结助剂1-3wt%,pH调节剂0.1-0.3wt%、余量为复合溶剂; 所述碳化物粉末中的碳化物与缺陷碳化物涂层中的碳化物相同; 所述氧化物粉末中的氧化物与碳进行热还原反应所得碳化物与缺陷碳化物涂层中的碳化物相同; 所述粘结剂选自PVB、PVA中的至少一种; 所述分散剂选自Tween-80、BYK-306中的至少一种; 所述烧结助剂选自Co、Ni中的至少一种; 所述复合溶剂选自丁二醇、乙醇、苯甲醇中的至少两种; 所述修复浆料层的厚度为15-25μm。
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