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龙图腾网获悉上海中科飞测半导体科技有限公司申请的专利一种微观三维形貌的检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120426905B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510948112.8，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种微观三维形貌的检测装置是由张鹏斌;刘健鹏;顾玥;陈鲁设计研发完成，并于2025-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种微观三维形貌的检测装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种微观三维形貌的检测装置，包括光源、物镜、探测器与处理器，物镜具有空间上并列分布的第一光通道与第二光通道；其中，第一光通道用于获取探测光以及将探测光汇聚至待测对象上；第二光通道用于获取待测对象在探测光照射下反射形成的信号光，并对信号光进行显微放大；探测器用于获取显微放大后的信号光并产生待测对象的检测图像，检测图像包括待测对象表面的在焦部位和或离焦部位的成像特征；处理器用于从探测器获取检测图像，并清晰化处理，基于处理后的图像确定待测对象表面的三维形貌信息。物镜作为探测光的导光模组以及信号光的导光模组，探测光的入射角较小，以能够较佳地为凸点进行检测。

本发明授权一种微观三维形貌的检测装置在权利要求书中公布了：1.一种微观三维形貌的检测装置，其特征在于，包括： 光源，用于产生探测光； 物镜，所述物镜具有空间上并列分布的第一光通道与第二光通道；其中，所述第一光通道用于获取所述探测光以及将所述探测光汇聚至待测对象上，所述待测对象的表面被调整为与所述物镜的前焦面共面或被调整为与所述物镜的前焦面的间距小于或等于30um；所述第二光通道用于获取所述待测对象在所述探测光照射下反射形成的信号光，并对所述信号光进行显微放大； 探测器，用于获取显微放大后的所述信号光并产生所述待测对象的检测图像，所述检测图像包括所述待测对象表面的在焦部位和或离焦部位的成像特征； 处理器，用于从所述探测器获取所述检测图像，对所述检测图像中的成像特征进行清晰化处理，基于处理后的图像确定所述待测对象表面的各部位高度并得到所述待测对象表面的三维形貌信息； 第一管镜，所述第一管镜用于接收所述光源发射的所述探测光，以能够使所述探测光传播至所述物镜的第一光通道； 致动器，所述致动器与所述第一管镜机械耦合，用于通过所述第一管镜调节所述探测光与系统光轴之间的距离，以及通过改变所述探测光射向所述待测对象的入射角度，使所述探测光斜射所述待测对象且反射的信号光能够被所述探测器收集。

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