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龙图腾网获悉均豪精密工业股份有限公司申请的专利研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223492931U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422899929.4，技术领域涉及：B24B37/10；该实用新型研磨设备是由蔡启勋;李龙生;林勇庆;林昌衡;颜佳庆;柯昀昇设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本研磨设备在说明书摘要公布了：研磨设备包含载台、研磨模块、测量模块与处理器。载台承托工件。研磨模块研磨工件。测量模块与载台之间的距离大于工件的厚度。测量模块包含外壳、测量装置、内壳与气压装置。外壳有第一开口与穿孔。测量装置与内壳位于外壳内，内壳有第二开口，内壳位于外壳与测量装置之间，内壳与测量装置之间定义连通第一与第二开口的第一间隙，外壳与内壳之间定义连通穿孔的第二间隙。测量装置通过第一与第二开口发出并接收信号，测量相对工件的距离。气压装置向第一与第二间隙送风。处理器根据所测量的距离计算出工件的厚度。研磨设备防止水气进入非接触式测量模块，降低测量装置被水气破坏的机会，把待研磨件上的水分及杂质吹走，提高测量装置测量的准确度。

本实用新型研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种研磨设备，其特征在于，包含： 一载台，配置为承托一待研磨件； 一研磨模块，配置为研磨该待研磨件； 一非接触式测量模块，与该载台之间相隔一第一距离，该第一距离大于该待研磨件的一第一厚度，该非接触式测量模块包含： 一外壳，具有一第一开口以及多个第一穿孔，所述多个第一穿孔围绕该第一开口分布； 一测量装置，位于该外壳内； 一内壳，具有一第二开口并位于该外壳内，该第二开口至少部分对齐该第一开口，该内壳至少部分位于该外壳与该测量装置之间，该内壳与该测量装置之间至少部分定义一第一间隙，该第一间隙连通该第二开口与该第一开口，该外壳与该内壳之间至少部分定义一第二间隙，该第二间隙连通所述多个第一穿孔，该测量装置配置为通过该第一开口与该第二开口向该待研磨件发出并接收一信号，以测量该测量装置与该待研磨件之间的一第二距离；以及 一气压装置，连通该第一间隙与该第二间隙，并配置为分别向该第一间隙与该第二间隙送风；以及 一处理器，信号连接该测量装置，并配置为根据所测量的该第二距离计算出该待研磨件的该第一厚度。

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