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北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司王都美获国家专利权

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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种工具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223492935U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422908457.4,技术领域涉及:B24B37/20;该实用新型一种工具是由王都美;仝超超;李世英;杨晨晨设计研发完成,并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种工具在说明书摘要公布了:本申请提供一种工具,包括固定架和工具架,所述固定架包括固定架本体和若干第一连接件,所述固定架本体的结构与所述抛光盘适配,所述第一连接件分别设置在所述固定架本体顶部表面并具有向内侧延伸的延伸部,所述固定架本体通过所述延伸部挂靠在所述抛光盘上,所述固定架本体侧壁的若干位置向外侧凸出形成若干第二连接部,所述第二连接部部分或者全部围合形成容纳腔;所述工具架包括工具架本体和支撑架,所述工具架本体能够被装配在所述容纳腔内,所述支撑架自所述工具架本体伸出,所述支撑架用于承托所述抛光垫。本申请的工具可灵活拆卸,实现了预防保养流程的半标准化,既可降低返工率,又提升了化学机械平坦化工艺水平。

本实用新型一种工具在权利要求书中公布了:1.一种工具,用于抛光设备的预防保养,所述抛光设备包括抛光垫和抛光盘,其特征在于,所述工具包括: 固定架,所述固定架包括固定架本体和若干第一连接件,所述固定架本体的结构与所述抛光盘适配,所述第一连接件分别设置在所述固定架本体顶部表面并具有向内侧延伸的延伸部,所述固定架本体通过所述延伸部挂靠在所述抛光盘上,所述固定架本体侧壁的若干位置向外侧凸出形成若干第二连接部,所述第二连接部部分或者全部围合形成容纳腔; 工具架,所述工具架包括工具架本体和支撑架,所述工具架本体能够被装配在所述容纳腔内,所述支撑架自所述工具架本体伸出,所述支撑架用于承托所述抛光垫。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司,其通讯地址为:100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号9幢一层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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