浙江晶瑞电子材料有限公司欧阳鹏根获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶瑞电子材料有限公司申请的专利晶锭固定装置及晶锭加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223492951U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422622579.7，技术领域涉及：B24B41/06；该实用新型晶锭固定装置及晶锭加工设备是由欧阳鹏根;盛永江;刘小琴;杨水淼;朱文帅;严佩斯设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶锭固定装置及晶锭加工设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶锭固定装置及晶锭加工设备，属于晶锭加工技术领域，解决了现有技术SiC晶锭固定稳定性不佳的问题。本申请包括：真空吸盘，真空吸盘用于吸附晶锭；气流控制组件，气流控制组件包括：气罐，气罐与真空吸盘之间形成有第一气路和第二气路，第一气路用于气罐从真空吸盘抽气，第二气路用于由气罐向真空吸盘输气；第一控制阀，第一控制阀设置于第一气路上，用于控制第一气路的通断，且第一控制阀为单向阀；以及第二控制阀，第二控制阀设置于第二气路上，用于控制第二气路的通断。本申请通过将第一控制阀设置为单向阀，可保证抽气时，不会因气罐的中断抽气而将气流倒吸回真空吸盘内，从而使得真空吸盘具有稳定的真空吸附力。
本实用新型晶锭固定装置及晶锭加工设备在权利要求书中公布了：1.一种晶锭固定装置，其特征在于，包括： 真空吸盘100，所述真空吸盘100用于吸附晶锭； 气流控制组件200，所述气流控制组件200包括： 气罐210，所述气罐210与所述真空吸盘100之间形成有第一气路A和第二气路B，所述第一气路A用于所述气罐210从所述真空吸盘100抽气，所述第二气路B用于由所述气罐210向所述真空吸盘100输气； 第一控制阀220，所述第一控制阀220设置于所述第一气路A上，用于控制所述第一气路A的通断，且所述第一控制阀220为单向阀；以及 第二控制阀230，所述第二控制阀230设置于所述第二气路B上，用于控制所述第二气路B的通断。
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