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龙图腾网获悉亚芯半导体材料(江苏)有限公司申请的专利一种具有灵活装夹结构的靶材生产研磨装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223492975U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422416900.6，技术领域涉及：B24B55/12；该实用新型一种具有灵活装夹结构的靶材生产研磨装置是由陈光;陈凌鹏;程其兵设计研发完成，并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有灵活装夹结构的靶材生产研磨装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种具有灵活装夹结构的靶材生产研磨装置，包括底座，所述底座的左端设置有用于固定靶材的装夹部件，所述底座的上侧表面固定连接有防护罩，所述防护罩为一种透明材质，透明材质的所述防护罩用于观察研磨进度，所述底座的上侧右端设置有用于对半导体研磨时产生的灰尘进行收集的集尘部件，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置集尘部件以及防护罩，收集研磨过程中产生的粉尘，既可以防止粉尘在设备内部积聚，从而减少设备故障和维护需求，还可以保持工作区域的整洁，改善空气质量，进一步地可以降低操作人员吸入有害粉尘的风险，保护操作人员的健康，另通过设置驱动电机对装夹部件进行驱动，提升了装夹结构的灵活性。

本实用新型一种具有灵活装夹结构的靶材生产研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种具有灵活装夹结构的靶材生产研磨装置，包括底座1：其特征在于，所述底座1的左端设置有用于固定靶材的装夹部件2，所述底座1的上侧表面固定连接有防护罩3，所述防护罩3为一种透明材质，透明材质的所述防护罩3用于观察研磨进度，所述底座1的上侧右端设置有用于对半导体研磨时产生的灰尘进行收集的集尘部件4； 所述底座1的后侧上端表面固定连接有支撑梁5，所述支撑梁5的外侧设置有传动部件6，所述支撑梁5的上端外侧滑动套接有支撑板9，所述支撑梁5的上端固定连接有连接板7，所述连接板7上设置有升降部件8，所述支撑板9上设置有用于对半导体靶材进行研磨的研磨装置10； 所述装夹部件2包括驱动电机21，所述驱动电机21的输出轴上固定连接有夹具座22，所述夹具座22为一种圆角矩形结构，且上部开设有用于控制滑动板23移动的滑槽，所述滑动板23的内部通过螺纹贯穿有第一螺纹杆24，所述第一螺纹杆24的外侧通过轴承连接有支撑件，所述支撑件与夹具座22固定连接，所述滑动板23的上端固定连接有第一夹块25，所述滑动板23的上端活动连接有第二夹块26，所述第二夹块26上通过轴承连接有第二螺纹杆27，所述第二螺纹杆27的外侧旋合有支撑块28，所述支撑块28与滑动板23固定连接。

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