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梭莱镀膜工业(江阴)有限公司韩刚库获国家专利权

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龙图腾网获悉梭莱镀膜工业(江阴)有限公司申请的专利一种氧化物旋转靶材绑定装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223496383U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423074702.2,技术领域涉及:C04B37/00;该实用新型一种氧化物旋转靶材绑定装置是由韩刚库;戈金鹏;谭露晓设计研发完成,并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种氧化物旋转靶材绑定装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种氧化物旋转靶材绑定装置,包括底座,所述底座上固定设置有底部工装,所述底部工装上开设有底部流道,且所述底部流道通过管道与高温熔体泵的输出端连接,所述底部工装上插接安装有基管,所述基管的外部套接安装有套筒,且所述套筒与所述基管间隔设置,并且所述套筒和所述基管之间的缝隙与所述底部流道连通,所述基管的顶部套接安装有顶部工装,所述顶部工装上开设有顶部流道。本实用新型一种氧化物旋转靶材绑定装置,通过高温熔体泵将熔融状态的金属焊料通过底部流道注入套筒和基管之间的缝隙,且注入方式是由下至上逐步填充缝隙内部,防止缝隙中因存在气泡形成气孔,提高绑定率,同时提高镀膜质量和产品质量。

本实用新型一种氧化物旋转靶材绑定装置在权利要求书中公布了:1.一种氧化物旋转靶材绑定装置,其特征在于:包括底座1,所述底座1上固定设置有底部工装2,所述底部工装2上开设有底部流道201,且所述底部流道201通过管道与高温熔体泵9的输出端连接,所述底部工装2上插接安装有基管3,所述基管3的外部套接安装有套筒4,且所述套筒4与所述基管3间隔设置,并且所述套筒4和所述基管3之间的缝隙与所述底部流道201连通,所述基管3的顶部套接安装有顶部工装5,所述顶部工装5上开设有顶部流道501,且所述顶部流道501通过管道与焊料收集盘10连接,并且所述套筒4和所述基管3之间的缝隙与顶部流道501连通,所述底座1上固定设置有支架6,所述支架6上固定设置有用于夹持所述套筒4的夹持工装7,所述套筒4的外部套接安装有保温套管8。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人梭莱镀膜工业(江阴)有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市江阴市金山路201号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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