上海钜晶精密仪器制造有限公司张上荣获国家专利权
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龙图腾网获悉上海钜晶精密仪器制造有限公司申请的专利一种用于碳化硅沉积的控温加热器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223496580U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422655086.3，技术领域涉及：C23C10/08；该实用新型一种用于碳化硅沉积的控温加热器是由张上荣;万金汇设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于碳化硅沉积的控温加热器在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种用于碳化硅沉积的控温加热器，对炉体内部抽气时，启动真空泵，输气管的下段对箱体的内腔抽气，使导向件下移，堵块从进气孔的下端向进气孔的上端移动，解除对通孔的封堵，第一降温腔上端的被降温的气体被抽入箱体的上空腔，被降温的气体通过堵块和通孔之间的间隙流向通孔的腔内，以到达箱体的下空腔，导向件向下移动，输气管的上段底部同步远离限位孔的孔腔，密封垫解除对上端输气管的封堵，处于炉体内部的气体在真空泵的作用下流向箱体的上空腔，并和进气口二进入的被降温的气体进行混合，以对气体进行初步降温，最终通过输气管的下段进行输送，通过多重降温方式，以加快输气管内部的气体降温速率，进而增加真空泵的使用寿命。
本实用新型一种用于碳化硅沉积的控温加热器在权利要求书中公布了：1.一种用于碳化硅沉积的控温加热器，包括炉体100，其特征在于： 所述炉体100的下端设置有第一降温腔10和第二降温腔20，所述炉体100的下端安装有用于对炉体100内部进行抽气的真空泵110，所述真空泵110的一端连接有输气管111； 所述炉体100的下端安装有便于对第二降温腔20的腔内进行降温的第一散热鳍片130，所述炉体100的下端安装有便于对第一降温腔10的腔内进行降温的第二散热鳍片140； 所述输气管111的一端安装有便于对输气管111内部的气体进行降温的辅助散热组件200。
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