安徽其芒光电科技有限公司裴永康获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽其芒光电科技有限公司申请的专利真空镀膜设备用外光源机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223496581U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422779362.7，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型真空镀膜设备用外光源机构是由裴永康;郑炳蔚;常兴旺;姜友松设计研发完成，并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空镀膜设备用外光源机构在说明书摘要公布了：本申请公开一种真空镀膜设备用外光源机构，包括：水平设置的第一安装板，与真空镀膜设备的顶部固定相连；第一安装板设有第一通孔；竖直设置的第二安装板，第二安装板的底端固定连接于第一安装板的上表面；安装于第二安装板上的卤素灯，卤素灯与第二安装板之间的角度可调；水平设置的第三安装板，第三安装板固定连接于第一安装板的上表面，第三安装板上固定设有镜筒，镜筒的开口朝向卤素灯设置；第三安装板设有第二通孔；安装于镜筒内的透镜，卤素灯、透镜、第二通孔和第一通孔在第一方向上依次设置；第一方向垂直于镀膜架上的镀膜样品。本说明书所提供的真空镀膜设备用外光源机构，使用全光谱光源，监控波长可任意选取，能提高膜厚测量精度。
本实用新型真空镀膜设备用外光源机构在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜设备用外光源机构，用于安装在真空镀膜设备的顶部，所述真空镀膜设备包括真空镀膜腔、以及设置在所述真空镀膜腔内的镀膜架，所述镀膜架用于承载镀膜样品；其特征在于，所述真空镀膜设备用外光源机构包括： 水平设置的第一安装板，用于与所述真空镀膜设备的顶部固定相连；所述第一安装板设有第一通孔； 竖直设置的第二安装板，所述第二安装板的底端固定连接于所述第一安装板的上表面； 安装于所述第二安装板上的卤素灯，所述卤素灯与所述第二安装板之间的角度可调； 水平设置的第三安装板，所述第三安装板固定连接于所述第一安装板的上表面，所述第三安装板上固定设有镜筒，所述镜筒的开口朝向所述卤素灯设置；所述第三安装板设有第二通孔； 固定安装于所述镜筒内的透镜，所述卤素灯、透镜、第二通孔和第一通孔在第一方向上依次设置；所述第一方向垂直于所述镀膜架上的镀膜样品。
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