沈阳爱科斯科技有限公司王君获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳爱科斯科技有限公司申请的专利弯管镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223496588U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423113426.6,技术领域涉及:C23C14/32;该实用新型弯管镀膜设备是由王君设计研发完成,并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本弯管镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种弯管镀膜设备,涉及镀膜设备技术领域,以在一定程度上解决靶材中析出离子众多,导致杂余离子会一并附着在工件上形成膜层,影响工件膜层质量的问题。本实用新型提供的弯管镀膜设备,包括主腔体及弯管机构;弯管机构包括弯管主体、过滤线圈、弧靶组件和过滤板,弯管主体为中空结构,内部形成有过滤通道,过滤板位于过滤通道内,且沿弯管主体的内壁面设置;弯管主体的一端与主腔体相连接,弧靶组件连接在弯管主体的另一端;过滤通道外形成有夹层腔,过滤线圈位于夹层腔内,且缠绕在过滤通道外。
本实用新型弯管镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种弯管镀膜设备,其特征在于,包括主腔体及弯管机构; 所述弯管机构包括弯管主体、过滤线圈、弧靶组件和过滤板,所述弯管主体为中空结构,内部形成有过滤通道,所述过滤板位于所述过滤通道内,且沿所述弯管主体的内壁面设置; 所述弯管主体的一端与所述主腔体相连接,所述弧靶组件连接在所述弯管主体的另一端; 所述过滤通道外形成有夹层腔,所述过滤线圈位于所述夹层腔内,且缠绕在所述过滤通道外。
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