山东瑞科森真空设备有限公司张燕娇获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉山东瑞科森真空设备有限公司申请的专利一种新型高能磁控溅射圆柱靶装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223496590U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422655971.1，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种新型高能磁控溅射圆柱靶装置是由张燕娇;梁静;宋东方;王海滔;李云彪;王国营;胡文浩设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型高能磁控溅射圆柱靶装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种新型高能磁控溅射圆柱靶装置，涉及磁控溅射圆柱靶技术领域。本实用新型包括磁控溅射圆柱靶主体，所述磁控溅射圆柱靶主体外侧插接有镀膜箱壳，所述磁控溅射圆柱靶主体外侧固定连接有安装架，所述镀膜箱壳下方设置有密封组件，所述密封组件包括环形安装壳。本实用新型通过设置密封组件，具体是磁控溅射圆柱靶主体安装后，将环形密封垫和环形安装壳分别插入磁控溅射圆柱靶主体上，环形安装壳在安装后，会与螺纹块一插接，再将螺母一安装使环形安装壳被固定，并将环形密封垫推动挤压，从而达到良好的密封效果，避免磁控溅射圆柱靶主体和镀膜箱壳的连接处存在间隙，从而提高镀膜箱内的真空效果，提高镀膜的质量。
本实用新型一种新型高能磁控溅射圆柱靶装置在权利要求书中公布了：1.一种新型高能磁控溅射圆柱靶装置，包括磁控溅射圆柱靶主体1，所述磁控溅射圆柱靶主体1外侧插接有镀膜箱壳11，所述磁控溅射圆柱靶主体1外侧固定连接有安装架12，所述镀膜箱壳11下方设置有密封组件13，其特征在于； 所述密封组件13包括环形安装壳131，所述环形安装壳131内侧套设有环形密封垫132，所述环形密封垫132顶部与镀膜箱壳11底部接触，所述环形安装壳131和环形密封垫132中心处均与磁控溅射圆柱靶主体1外侧插接，所述环形密封垫132内壁与磁控溅射圆柱靶主体1外表面接触，所述环形安装壳131顶部与镀膜箱壳11底部接触。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人山东瑞科森真空设备有限公司，其通讯地址为：274000 山东省菏泽市定陶区滨河街道办事处梁王路中段天厚5G产业园C1厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励