浙江创芯集成电路有限公司史甲获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利磁控溅射镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223496591U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423031095.1，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型磁控溅射镀膜设备是由史甲设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁控溅射镀膜设备在说明书摘要公布了：本公开实施例提供了一种磁控溅射镀膜设备，磁控溅射镀膜设备包括：驱动件、磁控件以及传动组件，其中，所述传动组件包括：主动轮，所述主动轮套设于所述驱动件的驱动轴外，并与所述驱动轴保持相对静止；从动轮，所述从动轮套设于所述磁控件的转轴外，并与所述转轴保持相对静止，所述磁控件的转轴与所述磁控件的主体保持相对静止；驱动带，所述驱动带绕设于所述主动轮以及所述从动轮外，所述驱动带适于在所述主动轮的驱动下驱动所述从动轮转动。采用上述技术方案，能够提高薄膜沉积厚度的均一性。
本实用新型磁控溅射镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射镀膜设备，其特征在于，包括： 驱动件、磁控件以及传动组件，其中，所述传动组件包括： 主动轮，所述主动轮套设于所述驱动件的驱动轴外，并与所述驱动轴保持相对静止； 从动轮，所述从动轮套设于所述磁控件的转轴外，并与所述转轴保持相对静止，所述磁控件的转轴与所述磁控件的主体保持相对静止； 驱动带，所述驱动带绕设于所述主动轮以及所述从动轮外，所述驱动带适于在所述主动轮的驱动下驱动所述从动轮转动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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