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怡通科技有限公司孟凡杰获国家专利权

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龙图腾网获悉怡通科技有限公司申请的专利卷对卷磁控溅射真空设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223496592U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423059085.9,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型卷对卷磁控溅射真空设备是由孟凡杰;房臣德设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

卷对卷磁控溅射真空设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了卷对卷磁控溅射真空设备,属于镀膜技术领域。该卷对卷磁控溅射真空设备包括真空室和阴极安装机构,真空室正面安装有密封门,真空室的内腔转动安装有冷却辊,真空室内壁两侧的顶部均设有收卷筒,真空室的内腔设有阴极靶体,安装弧板安装在真空室内壁的后侧,安装槽开设在安装弧板的顶部,且阴极靶体通过轴体安装在安装槽的内壁,本实用新型通过设置阴极安装机构,可以在阴极安装机构安装后对阴极靶体进行安装,且阴极安装机构对阴极靶体进行非固定式安装,使得能够将阴极靶体的角度进行调节,能够将阴极靶体调整为最佳的镀膜角度,进而提高镀膜的效果,在调节组件安装后对阴极靶体进行挤压,进而对阴极靶体的角度进行调节。

本实用新型卷对卷磁控溅射真空设备在权利要求书中公布了:1.卷对卷磁控溅射真空设备,包括真空室1,其特征在于;所述真空室1正面安装有密封门2,所述真空室1的内腔转动安装有冷却辊4,所述真空室1内壁两侧的顶部均设有收卷筒5,所述真空室1的内腔设有阴极靶体6; 阴极安装机构,所述阴极安装机构包括; 安装弧板7,所述安装弧板7安装在真空室1内壁的后侧; 安装槽8,所述安装槽8开设在安装弧板7的顶部,所述安装槽8开设有若干个,且阴极靶体6通过轴体安装在安装槽8的内壁。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人怡通科技有限公司,其通讯地址为:261041 山东省潍坊市奎文区高新区新城街道玉清社区东方路726号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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