深圳市科和盛业技术有限公司;东莞市科盛机电设备有限公司黄汉乐获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市科和盛业技术有限公司;东莞市科盛机电设备有限公司申请的专利溅射阴极、阴极机构及磁控溅射装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223496593U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423110533.3，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型溅射阴极、阴极机构及磁控溅射装置是由黄汉乐;李轩;俞理;刘洋铭设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本溅射阴极、阴极机构及磁控溅射装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种溅射阴极、阴极机构及磁控溅射装置。溅射阴极包括靶管，靶管的外表面设有溅射靶材；封管本体设置于靶管内部；磁棒设置于封管本体内部；及，多个调节组件，沿封管本体的轴向依次间隔设置于封管本体，多个调节组件分别与磁棒连接，并用于调节磁棒的至少部分与溅射靶材之间的距离；调节组件包括安装座、第一安装件以及升降单元，安装座设置于封管本体，并位于磁棒背向溅射靶材的一侧，安装座开设有安装空间，第一安装件设置于安装空间，升降单元设置于第一安装件，并与磁棒连接，升降单元用于驱动磁棒相对溅射靶材升降。本申请提供的溅射阴极的调节组件结构紧凑，能够缩小相邻两个调节组件之间的间距，提升溅射阴极的调节精度。
本实用新型溅射阴极、阴极机构及磁控溅射装置在权利要求书中公布了：1.一种溅射阴极，其特征在于，所述溅射阴极包括： 靶管，所述靶管的外表面设有溅射靶材； 封管本体，设置于所述靶管的内部； 磁棒，设置于所述封管本体的内部；及， 多个调节组件，沿所述封管本体的轴向依次间隔设置于所述封管本体，多个所述调节组件分别与所述磁棒连接，并用于调节所述磁棒的至少部分与所述溅射靶材之间的距离；所述调节组件包括安装座、第一安装件以及升降单元，所述安装座设置于所述封管本体，并位于所述磁棒背向所述溅射靶材的一侧，所述安装座开设有安装空间，所述第一安装件设置于所述安装空间，所述升降单元设置于所述第一安装件，并与所述磁棒连接，所述升降单元用于驱动所述磁棒相对所述溅射靶材升降。
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