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龙图腾网获悉青岛思锐智能科技股份有限公司申请的专利一种调整晶圆在真空腔内位置的多维度运动装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223496599U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422984432.2，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种调整晶圆在真空腔内位置的多维度运动装置是由彭奕博;张昊;伊明辉;杨永雷;李英万设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种调整晶圆在真空腔内位置的多维度运动装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种调整晶圆在真空腔内位置的多维度运动装置；包括中心轴，中心轴的顶部延伸至真空腔内与用于放置晶圆的托盘连接，真空腔内在托盘的正上方设置有真空内腔锁定板；升降支撑板，安装在真空腔的外部；升降机构，设置在升降支撑板上；微调机构，其包括微调支撑板和与微调支撑板连接的微调组件，微调组件与中心轴连接；升降机构与微调支撑板连接；旋转机构，与中心轴的下端连接；锁定反馈组件，用于检测托盘是否与真空内腔锁定板接触锁定。本实用新型提供的装置将多种功能进行集成，可以多维度调整真空腔内托盘的位置，为不同工艺提供功能上的选择，可以使晶圆在腔内实现上下运动，旋转运动，托盘位置锁定，托盘位置微小调节等功能。

本实用新型一种调整晶圆在真空腔内位置的多维度运动装置在权利要求书中公布了：1.一种调整晶圆在真空腔内位置的多维度运动装置，其特征在于，包括： 中心轴3，所述中心轴3的顶部延伸至真空腔1内与用于放置晶圆的托盘2连接，所述真空腔1内在所述托盘2的正上方设置有真空内腔锁定板18； 升降支撑板4，安装在真空腔1的外部； 升降机构5，设置在所述升降支撑板4上； 微调机构，其包括微调支撑板9和与微调支撑板9连接的微调组件，所述微调组件与所述中心轴3连接，用于调整中心轴3的位置；所述升降机构5与所述微调支撑板9连接，用于带动所述微调支撑板9上下移动进而带动所述中心轴3上下移动； 旋转机构，与所述中心轴3的下端连接，用于驱动所述中心轴3旋转； 锁定反馈组件，与所述微调组件连接，用于检测所述托盘2是否与所述真空内腔锁定板18接触锁定； 当所述升降机构5带动所述中心轴3向上移动，使得所述托盘2与所述真空内腔锁定板18接触锁定时，所述托盘2受到向下的作用力，通过所述中心轴3依次作用于所述微调组件、所述锁定反馈组件。

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