宸微设备科技(苏州)有限公司魏兆勇获国家专利权
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龙图腾网获悉宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利传感器位置调节装置以及半导体设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223496603U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422926084.3,技术领域涉及:C23C14/54;该实用新型传感器位置调节装置以及半导体设备是由魏兆勇;李靖设计研发完成,并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本传感器位置调节装置以及半导体设备在说明书摘要公布了:一种传感器位置调节装置以及半导体设备,在传感器位置调节装置工作时,驱动单元中的齿轮传动机构通过齿轮啮合传动驱动调整块在所述导向单元上沿所述第一方向移动,使得设置在调整块上的传感器沿第一方向移动。齿轮传动机构进行传动时,能够有效防止调整过程中的意外位移,从而设置在调整块上的传感器位置不易发生偏移,保证传感器位置调节的稳定性和精准性,降低了操作过程中引入误差的风险,能够实现传感器位置的精准调节。
本实用新型传感器位置调节装置以及半导体设备在权利要求书中公布了:1.一种传感器位置调节装置,其特征在于,包括: 基座单元; 导向单元,设置在所述基座单元上,所述导向单元沿第一方向延伸; 调整块,沿所述第一方向滑动设置在所述导向单元上,所述调整块用于设置传感器; 驱动单元,设置在所述基座单元上,且与所述调整块连接,所述驱动单元包括齿轮传动机构,用于驱动所述调整块在所述导向单元上沿所述第一方向移动。
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