江阴纳力新材料科技有限公司唐鑫隆获国家专利权
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龙图腾网获悉江阴纳力新材料科技有限公司申请的专利一种带有静电消除机构的多层集流体镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223496604U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422913361.7，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型一种带有静电消除机构的多层集流体镀膜装置是由唐鑫隆;李学法;张国平设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带有静电消除机构的多层集流体镀膜装置在说明书摘要公布了：本申请涉及多层集流体技术领域，一种带有静电消除机构的多层集流体镀膜装置，镀膜腔室外分布有若干组分子泵，镀膜腔室内设有两组主辊，镀膜腔室内设有将两组主辊两侧空间与两组主辊之间的空间间隔的挡板，主辊的膜材放卷机构和膜材收卷机构均位于两主辊之间，靶材位于主辊的两侧，膜材进入主辊处安装有静电消除机构；静电消除机构包括上支架和下支架，上支架固定安装在镀膜腔室内，上支架的底部通过调节机构与下支架连接，下支架的底面上安装有静电消除器，静电消除器底部安装有靠辊。本申请消除了膜材表面的静电，避免膜材在磁控过程产生静电引起靶材打火、异常放电导致膜面出现针孔、孔洞等现象，提高了真空镀膜的质量。
本实用新型一种带有静电消除机构的多层集流体镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种带有静电消除机构的多层集流体镀膜装置，其特征在于：包括镀膜腔室1，所述镀膜腔室1外分布有若干组分子泵11，镀膜腔室1内设有两组分别对膜材正反面进行承载的主辊12，且镀膜腔室1内设有将两组主辊12两侧空间与两组主辊12之间的空间间隔的挡板13，所述主辊12的膜材放卷机构2和膜材收卷机构3均位于两主辊12之间，用于对主辊12上承载的膜材进行镀膜的靶材121位于主辊12的两侧，其中膜材进入主辊12处安装有静电消除机构4； 静电消除机构4，所述静电消除机构4包括上支架41和下支架42，其中上支架41固定安装在镀膜腔室1内，且上支架41的底部通过调节机构43与下支架42连接，所述下支架42的底面上安装有静电消除器421，其中静电消除器421底部安装有用于放置膜材的靠辊422，所述调节机构43能够调节静电消除器421距离主辊12的距离。
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