浙江京浜光电科技有限公司增田清志获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江京浜光电科技有限公司申请的专利一种低反射滤光片镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223496605U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423070109.0，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型一种低反射滤光片镀膜装置是由增田清志;增田博志设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种低反射滤光片镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种低反射滤光片镀膜装置，包括镀膜装置主体，所述镀膜装置主体内部设置有镀膜室，所述镀膜室下侧壁固定设置有极靶。通过驱动组件驱动托盘带动低反射滤光片进行移动，使得低反射滤光片移动至连接罩之间，电动推杆驱动输出端推动出气罩带动气体分布板向下移动，将压缩的氮气通过气体输送组件输送至出气罩内部，并通过气体分布板吹向低反射滤光片，将低反射滤光片表面的灰尘吹落，并通过收集组件对氮气和灰尘进行收集，从而避免了在镀膜前没有彻底清除灰尘，当滤光片进入镀膜设备的真空室时，灰尘颗粒会成为真空环境中的杂质源的情况，避免了灰尘破坏镀膜表面的平整度和均匀性的情况。
本实用新型一种低反射滤光片镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种低反射滤光片镀膜装置，包括镀膜装置主体1，其特征在于，所述镀膜装置主体1内部设置有镀膜室2，所述镀膜室2下侧壁固定设置有极靶3，所述镀膜室2上侧壁固定设置有固定板4，所述固定板4表面固定设置有固定环5，所述固定环5内部转动设置有限位环6，所述限位环6内部固定设置有托盘7，所述固定环5顶部设置有驱动组件，所述镀膜室2后侧壁固定设置有安装板，所述安装板内部固定设置有连接罩11，所述连接罩11顶部固定设置有L形板14，所述L形板14顶部固定设置有电动推杆15，所述电动推杆15输出端固定设置有出气罩12，所述出气罩12滑动设置在连接罩11的内部，所述出气罩12内部固定设置有气体分布板13，所述出气罩12顶部气体输送组件，所述镀膜装置主体1后侧设置有收集组件。
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