北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司韩建光获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种匀流组件及化学气相沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223496611U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422517869.5，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种匀流组件及化学气相沉积装置是由韩建光;刘小庆;李金月;王亿尧;杜亮设计研发完成，并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种匀流组件及化学气相沉积装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种匀流组件，包括匀流部，匀流部包括第一部分和第二部分，第二部分位于匀流组件中心区域，第一部分环绕第二部分，第一部分沿厚度方向设置有若干贯穿孔，第二部分不设置贯穿孔。本申请还提供一种采用上述匀流组件的化学气相沉积装置。反应气体经过本申请的匀流组件后，喷淋在晶圆表面的反应气体分布更趋均匀，从而使长膜后晶圆表面的金属膜层厚度更趋均匀。
本实用新型一种匀流组件及化学气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种匀流组件，其特征在于，所述匀流组件包括匀流部，所述匀流部包括第一部分和第二部分，所述第二部分位于所述匀流组件中心区域，所述第一部分环绕所述第二部分，所述第一部分沿厚度方向设置有若干贯穿孔，所述第二部分不设置贯穿孔。
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