苏博克(宁波)科技有限公司邬苏东获国家专利权
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龙图腾网获悉苏博克(宁波)科技有限公司申请的专利一种CVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223496612U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422959198.8，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种CVD设备是由邬苏东;段春福;戴梦亮;金行设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种CVD设备，包括内部中空且密闭的腔体，腔体内底部设置有工作台，腔体的侧壁上设置有进气管，还包括顶部固定在腔体顶盖上的分隔板，分隔板至少包括平行间隔设置的第一分隔板和第二分隔板，并能将腔体分隔成至少两个腔室，第一分隔板和第二分隔板靠近底部侧设置有多个引导气体流出腔室的引流孔；工作台上设置有供第一分隔板和第二分隔板插设的插槽，插槽的底部设置有第一排气口，腔体底部设置有与第一排气口连通的第二排气口。本实用新型通过设置分隔板，使腔体被分隔成多个单独控制进气的腔室，同时气体会沿着预设路径从引流孔流出腔室，并经由第一排气孔和第二排气孔流至腔体外，腔室内气体的均匀性提高，改善了薄膜的沉积质量。
本实用新型一种CVD设备在权利要求书中公布了：1.一种CVD设备，包括有： 内部中空且密闭的腔体1，所述腔体1内部的底部设置有工作台2； 进气管3，设置在所述腔体1的侧壁上，并能供气体进入所述腔体1内部； 其特征在于还包括有： 分隔板4，所述分隔板4的顶部固定设置在所述腔体1的顶盖上，所述分隔板4的底部向工作台2延伸，分隔板4能将所述腔体1分隔成至少两个腔室11，各个所述腔室11至少对应设置有一个进气管3，所述分隔板4至少包括平行间隔设置的第一分隔板41和第二分隔板42，所述第一分隔板41和第二分隔板42靠近底部一侧设置有多个引导气体流出所述腔室11的引流孔5； 所述工作台2上设置有供所述第一分隔板41和第二分隔板42底部插设的第一插槽22，所述第一插槽22的底部设置有第一排气口21，所述腔体1的底部设置有与所述第一排气口21连通的第二排气口12。
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