北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司王树巍获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种抽气组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223496613U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422974989.8，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种抽气组件是由王树巍;闫建行;张韩;翟冬梅设计研发完成，并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抽气组件在说明书摘要公布了：本申请提供一种抽气组件，用于原子层沉积设备，包括：用于原子层沉积设备，包括：顶盖、扩散板和抽气环；所述扩散板设置在所述顶盖的内侧与所述顶盖分体式连接，且所述扩散板的外壁与所述顶盖的内壁围合形成底面开口的第一导流腔；所述扩散板呈环形，包含多个齿状部，相邻所述齿状部的间隙形成所述第一导流腔的进气口；以及抽气环，所述抽气环的内部形成有第二导流腔，且所述抽气环的顶面与所述第一导流腔的底面密封配合；且所述抽气环的顶面设置有用于使所述第二导流腔与所述第一导流腔连通的通孔，以使从所述进气口进入的气体经过第一导流腔后从第二导流腔排出。本申请提供的抽气组件具有良好的密封性且易清洁。
本实用新型一种抽气组件在权利要求书中公布了：1.一种抽气组件，用于半导体工艺设备，其特征在于，包括：顶盖、扩散板和抽气环； 所述扩散板设置在所述顶盖的内侧与所述顶盖分体式连接，且所述扩散板的外壁与所述顶盖的内壁围合形成底面开口的第一导流腔；所述扩散板呈环形，包含多个齿状部，相邻所述齿状部的间隙形成所述第一导流腔的进气口；以及 抽气环，所述抽气环的内部形成有第二导流腔，且所述抽气环的顶面与所述第一导流腔的底面密封配合；且所述抽气环的顶面设置有用于使所述第二导流腔与所述第一导流腔连通的通孔，以使从所述进气口进入的气体经过第一导流腔后从第二导流腔排出。
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