北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司闫建行获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种进气结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223496614U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423021170.6，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种进气结构是由闫建行;王树巍;王志天;张韩;翟冬梅设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种进气结构在说明书摘要公布了：本申请提供一种进气结构，用于半导体工艺设备，包括：进气结构主体；至少一气体流道组，位于所述进气结构主体内部，所述气体流道组包括：进气孔，设置在所述进气结构主体的中部，用于供气体流入；多个主流道，多个所述主流道的第一端分别连通所述进气孔，多个所述主流道的第二端分别延伸至所述进气结构主体周侧；多个支流道，任一所述支流道的第一端与所述主流道连通，所述支流道的第二端延伸至所述进气结构主体的周侧；多个出气孔，分别位于所述主流道和所述支流道，用于供气体从所述主流道以及所述支流道流出所述进气结构主体。本申请提供的进气结构铺气路程段、气体分散均匀性高。
本实用新型一种进气结构在权利要求书中公布了：1.一种进气结构，用于半导体工艺设备，其特征在于，包括： 进气结构主体； 至少一气体流道组，位于所述进气结构主体内部，所述气体流道组包括： 进气孔，设置在所述进气结构主体的中部，用于供气体流入； 多个主流道，多个所述主流道的第一端分别连通所述进气孔，多个所述主流道的第二端分别延伸至所述进气结构主体周侧； 每个主流道上分布的多个支流道，任一所述支流道的第一端与主流道连通，所述支流道的第二端延伸至所述进气结构主体的周侧，所述多个支流道依次分布于主流道延伸方向； 多个出气孔，分别位于所述主流道和所述支流道，用于供气体从所述主流道以及所述支流道流出所述进气结构主体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号9幢一层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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