宁波隆发特大电机维修有限公司徐长鸿获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波隆发特大电机维修有限公司申请的专利一种真空下薄膜沉积装置进气机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223496615U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423021823.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种真空下薄膜沉积装置进气机构是由徐长鸿设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空下薄膜沉积装置进气机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种真空下薄膜沉积装置进气机构，其包括：装置本体，所述装置本体一侧装配有进气管道，所述进气管道包括通气腔与盖板，所述通气腔内开设有环形凹槽；所述调节组件安装在进气管道内，所述调节组件包括安装于环形凹槽内的转盘，所述转盘上端焊接有调节板，所述调节板两端对称设置有隔板，通过设置的调节组件内的多个零件配合使用，通过电机主轴驱动的调节组件，能够根据实际情况，精确控制隔板转速，从而调节气体流量，通过反应气体在腔体内的分布均匀，有助于提高薄膜的沉积质量，减少薄膜厚度不一致的问题，从而提高产品的性能和一致性。
本实用新型一种真空下薄膜沉积装置进气机构在权利要求书中公布了：1.一种真空下薄膜沉积装置进气机构，其特征在于，其包括： 装置本体100，所述装置本体100一侧装配有进气管道200，所述进气管道200包括通气腔201与盖板202，所述通气腔201内开设有环形凹槽203； 调节组件300，所述调节组件300安装在进气管道200内，所述调节组件300包括安装于环形凹槽203内的转盘304，所述转盘304上端焊接有调节板306，所述调节板306两端对称设置有隔板308。
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