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浙江精工集成科技股份有限公司马金龙获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江精工集成科技股份有限公司申请的专利一种具有散气装置的化学气相渗透炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223496616U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423135726.4,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种具有散气装置的化学气相渗透炉是由马金龙;李照谦;涂建新;施美华;傅肖琳;谢钢;李爱军;张志辉;赵恒设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种具有散气装置的化学气相渗透炉在说明书摘要公布了:一种具有散气装置的化学气相渗透炉,属于化学气相渗透炉技术领域;本方案提供了一种具有散气装置的化学气相渗透炉,该装置采用锥形多面体散气装置将入气口的气体通过设置的散气口有效分散,通过这种方法,不仅能够均匀分布气体,使基底的各个位置与气体的接触面保持一致,还避免了额外外力的使用,从而有效控制了成本,此外,该散气装置无需固定,可以根据需要随时更换不同型号,根据基底的规格选择所需的散气装置,将气体精准的与基底进行接触,避免气体与原料的浪费。

本实用新型一种具有散气装置的化学气相渗透炉在权利要求书中公布了:1.一种具有散气装置的化学气相渗透炉,包括反应炉1与混气罐2,其特征在于:所述反应炉1包括反应腔室3与炉顶4,所述反应腔室3的炉壁为中空结构,所述反应腔室3的炉壁内设有水冷装置5,所述炉顶4的顶部设有出气口6,所述反应腔室3的底部设有进气口7,所述混气罐2与反应炉1的进气口7之间连接有进气管道8,所述进气口7出设有散气装置9,所述散气装置9对应的反应腔室3底部设有基底支撑架10,所述基底支撑架10与进气口7同轴线设置,且所述基底支撑架10的顶部设有基底11; 所述混气罐2上连接有原料罐12与气罐13,所述原料罐12与气罐13均通过管路与混气罐2进行连接,所述原料罐12与气罐13两者与混气罐2之间均设有加热装置14; 所述散气装置9包括一个倒至的圆锥体15与用于支撑圆锥体15的支撑柱16,所述圆锥体15为底部开设有敞口的中空结构,且圆锥体15的底部设于反应腔室3的进气口7中,所述圆锥体15的顶部开设有多个朝向四周发散的散气孔17。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江精工集成科技股份有限公司,其通讯地址为:312000 浙江省绍兴市柯桥区鉴湖路1809号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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