盛吉盛半导体科技(北京)有限公司齐冠鸣获国家专利权
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龙图腾网获悉盛吉盛半导体科技(北京)有限公司申请的专利一种石英板及化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223496618U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422906801.6，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种石英板及化学气相沉积设备是由齐冠鸣;王美玲;李景舒设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石英板及化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种石英板及化学气相沉积设备，所述石英板包括板体和沿板体边缘周向延伸的支撑部，支撑部设置于板体下方并且抵接于反射板上表面，使所述板体间隔设置于所述反射板上方，板体与支撑部为一体成型结构。本实用新型通过在板体的边缘下方设置支撑部，通过支撑部支撑板体使板体间隔地设于反射板上方，并且板体与支撑部为一体成型结构，从而避免石英板在高温环境下热应力集中发生形变，以避免石英板的板体与晶圆或反射板发生触碰，导致晶圆、反射板结构损伤；同时，由于支撑部设于板体的边缘，还可以避免支撑部对反射板反射功能的阻碍，从而保证晶圆温度均匀性，提高工艺效果。
本实用新型一种石英板及化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种石英板，其特征在于，其包括板体和沿所述板体边缘周向延伸的支撑部，所述支撑部设置于所述板体下方并且抵接于反射板上表面，使所述板体间隔设置于所述反射板上方，所述板体与所述支撑部为一体成型结构。
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