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龙图腾网获悉厦门市俊亦精密机械有限公司申请的专利一种用于太阳能PECVD工艺载板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223496619U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422943441.7，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种用于太阳能PECVD工艺载板是由陈学亮设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于太阳能PECVD工艺载板在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光伏相关技术领域，尤其涉及一种用于太阳能PECVD工艺载板，包括普通隔块，所述普通隔块的下方表面设置有减振机构。该一种用于太阳能PECVD工艺载板，通过减振机构的设置，当产生振动时，振动优先通过防滑底盘，由于防滑底盘的材质为硅橡胶，在振动从防滑底盘通过至固定柱时，部分能量被防滑底盘吸收，随后振动传至连接柱与弹簧套筒内的减震弹簧，减震弹簧通过吸收振动转化为弹性势能，继续减小从底层传来的振动，这样设置，有效减少振动传递到载板及电池片，避免因振动导致电池片在载板上位移，从而确保在电池片表面进行的薄膜沉积过程均匀性不受破坏，保障薄膜的质量，进而减小了生产成本和生产周期。

本实用新型一种用于太阳能PECVD工艺载板在权利要求书中公布了：1.一种用于太阳能PECVD工艺载板，包括普通隔块1，其特征在于：所述普通隔块1的内侧贯穿有隔块柱2，所述隔块柱2的一侧表面固定连接有第一石墨片3，所述第一石墨片3的一侧表面固定连接有石墨连接柱4，所述石墨连接柱4的一侧表面固定连接有第二石墨片5，所述石墨连接柱4的外侧表面滑动连接有陶瓷块6，所述第二石墨片5的一侧表面固定连接有斜角隔块7，所述普通隔块1的下方表面设置有减振机构8； 所述减振机构8包括支撑底座801、连接柱802、弹簧套筒803、减震弹簧804、伸缩柱805、固定柱806、固定盘807、连接板808和防滑底盘809，所述普通隔块1的下方表面固定连接有支撑底座801，所述支撑底座801的一侧表面转动连接有连接柱802，所述支撑底座801的一侧表面转动连接有弹簧套筒803，所述弹簧套筒803的内侧表面滑动连接有减震弹簧804，所述减震弹簧804的一侧表面固定连接有伸缩柱805，所述伸缩柱805的一侧表面固定连接有固定柱806，所述固定柱806的下方表面固定连接有固定盘807，所述固定盘807的下方表面固定连接有连接板808，所述连接板808的下方表面固定连接有防滑底盘809。

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