青岛贝斯兰半导体科技有限公司吴疆获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛贝斯兰半导体科技有限公司申请的专利一种应用于半导体气动隔膜泵的复合膜片组件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223498101U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423187039.7,技术领域涉及:F04B43/06;该实用新型一种应用于半导体气动隔膜泵的复合膜片组件是由吴疆;常胜设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于半导体气动隔膜泵的复合膜片组件在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种应用于半导体气动隔膜泵的复合膜片组件,包括膜片单元、连接单元、固定单元;连接单元通过固定单元,与膜片单元连接为一体,其中连接单元位于膜片单元的后端、固定单元位于膜片单元的前端;膜片单元设置有膜片体,膜片体由前向后依次设置有防腐层、加强层、弹性层,膜片体由内圈向外圈依次设置有隔膜环、限位环,其中限位环中的弹性层与加强层之间还设置有限位垫层,限位环的前端与后端分别设置若干圈橡胶加强环。通过设置防腐层、加强层、弹性层,能够为膜片体提供稳定可靠支撑,通过设置有隔膜环、限位环能够实现对不同流体流量输运控制,通过设置限位垫层,能够保证限位环对于隔膜环的档位控制。
本实用新型一种应用于半导体气动隔膜泵的复合膜片组件在权利要求书中公布了:1.一种应用于半导体气动隔膜泵的复合膜片组件,其特征在于,包括膜片单元、连接单元、固定单元; 所述连接单元通过固定单元,与膜片单元连接为一体,其中连接单元位于膜片单元的后端、固定单元位于膜片单元的前端; 所述膜片单元设置有膜片体,所述膜片体由前向后依次设置有防腐层、加强层、弹性层,所述膜片体由内圈向外圈依次设置有隔膜环、限位环,其中限位环中的弹性层与加强层之间还设置有限位垫层,限位环的前端与后端分别设置若干圈橡胶加强环。
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