合肥晶合集成电路股份有限公司盛云获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利光学关键尺寸量测机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223500348U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423097460.9，技术领域涉及：G01B11/00；该实用新型光学关键尺寸量测机台是由盛云;高志杰;蔡宗佐;沈磊设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学关键尺寸量测机台在说明书摘要公布了：本申请涉及一种光学关键尺寸量测机台，包括机台本体、掩膜版和光学监测模组，掩膜版位于在机台本体的载台上，掩膜版包括多个呈周期性排布的多个目标图形；其中，每一目标图形包括多个子图形和至少一关键尺寸位置，关键尺寸位置为相邻两个子图形之间的位置；光学监测模组用于量测每一目标图形的关键尺寸信息，并将关键尺寸信息与对应的预设尺寸信息进行对比，以监测关键尺寸信息是否异常；关键尺寸信息包括关键尺寸位置对应的两个子图形的第一间距、子图形的厚度以及相邻两个目标图形之间的第二间距。可以实现对目标图形三维关键尺寸的实时监测，及时发现缺陷位置，提高量测效率，提高半导体良率。
本实用新型光学关键尺寸量测机台在权利要求书中公布了：1.一种光学关键尺寸量测机台，其特征在于，包括： 机台本体； 掩膜版，位于在所述机台本体的载台上，所述掩膜版包括多个呈周期性排布的多个目标图形；其中，每一所述目标图形包括多个子图形和至少一关键尺寸位置，所述关键尺寸位置为相邻两个所述子图形之间的位置； 光学监测模组，用于量测每一所述目标图形的关键尺寸信息，并将所述关键尺寸信息与对应的预设尺寸信息进行对比，以监测所述关键尺寸信息是否异常；所述关键尺寸信息包括所述关键尺寸位置对应的两个所述子图形的第一间距、所述子图形的厚度以及相邻两个所述目标图形之间的第二间距。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥晶合集成电路股份有限公司，其通讯地址为：230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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